一种具有旋转装置的探针卡制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有旋转装置的探针卡，包含：基板，基板具有第一面和与第一面相对的第二面；金属触片，金属触片固定于基板的第一面上；旋转装置，旋转装置安装在基板上并相对于基板可旋转；探针，探针安装在旋转装置上并朝向背离基板的第一面的方向伸出，其中金属触片与探针电连接。该探针卡将探针置于可旋转的装置上，探针位置经过旋转后可适配不同芯片的接触窗布局，提高探针卡使用率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有旋转装置的探针卡
本技术涉及半导体
，特别涉及一种具有旋转装置的探针卡。
技术介绍
在功率半导体制程中，晶圆级芯片测试是一项重要的监测步骤，通过测试芯片的直流电学特性来反映元件特性和芯片工厂制程的问题，并且能为后续的成品测试提前筛选掉不良品，从而为成品测试节省时间和成本。进行晶圆级芯片测试需要将晶圆承载于探针台内的载晶盘上，由载晶盘带动晶圆进行移动，通过控制载晶盘的升降实现探针与芯片的接触与分离，接触之后将测试信号通过探针卡传输到芯片上。由于不同功率芯片的接触窗布局不同，要使探针位置与接触窗位置相符合，需要根据每一款芯片的接触窗布局制作相应的探针卡。因此，如何提高探针卡的利用率成为半导体领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
为了解决现有的技术问题，本技术提出了一种具有旋转装置的探针卡。依据本技术，提供一种具有旋转装置的探针卡，包含：基板，基板具有第一面和与第一面相对的第二面；金属触片，金属触片固定于基板的第一面上；旋转装置，旋转装置安装在基板上并相对于基板可旋转；探本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有旋转装置的探针卡，其特征在于，包含：/n基板，所述基板具有第一面和与所述第一面相对的第二面；/n金属触片，所述金属触片固定于所述基板的所述第一面上；/n旋转装置，所述旋转装置安装在所述基板上并相对于所述基板可旋转；/n探针，所述探针安装在所述旋转装置上并朝向背离所述基板的所述第一面的方向伸出，其中所述金属触片与所述探针电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有旋转装置的探针卡，其特征在于，包含：
基板，所述基板具有第一面和与所述第一面相对的第二面；
金属触片，所述金属触片固定于所述基板的所述第一面上；
旋转装置，所述旋转装置安装在所述基板上并相对于所述基板可旋转；
探针，所述探针安装在所述旋转装置上并朝向背离所述基板的所述第一面的方向伸出，其中所述金属触片与所述探针电连接。


2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述基板包含位于中心的圆孔；所述旋转装置包含子基板，其中所述基板的面积大于所述圆孔的面积并在所述基板的所述第一面覆盖所述圆孔，所述探针穿过所述圆孔并朝向背离所述基板的所述第一面的方向延伸。


3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述旋转装置包含上盖，所述上盖被固定至所述基板的第一面，使得所述子基板被可旋转地...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32