玻璃基板的断开边缘的检查装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种玻璃基板的断开边缘的检查装置，是使用影像处理自动判定玻璃断开面的肋纹或浸透深度，可以与熟练操作者同等精度进行判定。本实用新型专利技术的解决装置为一种玻璃基板的断开边缘的检查装置，具有：装有承载液晶面板的吸取保持装置的桌台、配置于桌台的边缘外侧并捕捉液晶面板的断开面成像的3D位移计、及使用3D位移计的资料进行判定的判定装置，桌台或3D位移计中至少其一移动，判定装置具有以下功能：将前述3D位移计所测定的玻璃断面影像资料及玻璃断面高度与已凭借深度学习而学习的资料进行比较，而判定液晶面板的断开面的状态。

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的断开边缘的检查装置
本技术涉及在液晶面板基板等制造中的玻璃基板裁切步骤中，检查玻璃基板的断开边缘的装置，进一步详细而言系关于一种检查装置，其判定装置的判定精度可以与熟练操作者的判定同等的精度进行。
技术介绍
对用于液晶面板基板等的玻璃基板进行高精度裁切时，使用如图5A所示的切割轮21，其具有半径2mm程度的锯齿状的刃部21a，如图5B所示，切割轮21系在深入玻璃30表面2μm程度的状态下移动，且刃部21a与玻璃30冲突时，会因冲击产生称为肋纹(ribmark)32的重复性波形状断面。又，图6为从横向观看图5B的图，从经由切割轮21的刀尖21a所形成的割痕前端开始，朝玻璃30内部高速形成平坦度较高的裂纹。所述破裂称为浸透33。所述浸透33是在与切割刀施加压力方向几乎相同的方向前进，故几乎与玻璃面成大约直角。又，以图6中刀尖21a所深入的切割刀深度为31d，肋纹深度为32d，浸透深度为33d，未断开玻璃的浸透所未达到的区域(浸透外区域)深度为34d。考虑到高精度的玻璃加工及搬送，需要把切划步骤及断开步骤分开。因此，即使产生浸透33，玻璃30中也需要留有未破裂部分。然而，若在浸透33较浅状态下凭借负重断开玻璃30，则会因从浸透33前端往玻璃30内部随机存在的微破裂、及负重加压方式的非再现性，有时会产生较大倾斜破裂(参照图7中虚线)。此会形成削缺或缺口，会降低断开精度。因此，控制浸透33深度尽可能形成较深浸透33，并减少随机裂纹的成长距离，此对于提高玻璃裁切品质是非常重要的。又，浸透33的安定深度与肋纹32深度相关，因切割轮21的磨耗会产生不均一等，故无法安定形成肋纹32，此时浸透33深度也不安定，有产生上述不良的顾虑。现有一般方法为从线上取出玻璃，对于小片切片的玻璃片使用显微镜监视玻璃断面的状态并成像。一直以来，为了不用将玻璃从搬送线取出而有自动化的需求(参照专利文献1至5)，分别相对于玻璃端面以各种角度照射光并检测不良。[
技术介绍
文献][专利文献]专利文献1：日本特开2012-181032号公报。专利文献2：日本特开2018-187170号公报。专利文献3：国际公开WO2012/153718。专利文献4：国际公开WO2017/073628。专利文献5：日本特开2019-137606号公报。
技术实现思路
[所欲解决的课题]专利文献1至4的技术分别对于玻璃端面从各种角度照射光，成像玻璃裁切面并检测不良。又，专利文献5的技术为自动检测有无形成肋纹及厚度的检查装置，但这种状况下也是以一般平面影像进行判定。又，自动化中的问题为平坦玻璃表面具有正反射性质，虽然少量，但若裁切面角度较差，则作为同轴落射的照射光完全不会前往相机，有时对比非常低。此情形如果是人的话，即使是低对比也可判断。原本玻璃断开的目的为所有切割为直角，因此若是与浸透相同方向的残留部分被断开，则无法看到浸透的边界。此时，从浸透开始的前端部分的玻璃表面的质地仅稍微粗糙，差异程度不大，故现有影像处理无法确认此种差异。但熟练操作者则可确认到如此些微差异。状态好的玻璃断面中肋纹重复性非常高，影像处理容易，但深入的切割刀或切割刀沾有玻璃粉时，肋纹会成为不规则且混乱的状态。如此情形下，对于影像处理而言，判断何处是切割刀所产生正规肋纹是非常困难的。本技术的目的为解决上述课题，系提供一种玻璃基板的断开边缘的检查装置，即使是利用使用影像处理进行自动判定的检查装置，也可以与熟练操作者同等精度测定玻璃断开面的肋纹或浸透深度。[用以解决课题的装置]也即，为了解决上述课题，本技术为一种玻璃基板的断开边缘的检查装置，具有桌台、吸取保持装置、3D位移计、及判定装置，所述桌台是在上表面承载玻璃基板的下表面，所述吸取保持装置是在所述桌台保持所承载的所述玻璃基板，所述3D位移计配置于上述桌台的边缘外侧并捕捉所述玻璃基板断开面的成像，所述判定装置系使用所述3D位移计的玻璃断面影像资料及玻璃断面高度资料进行判定，上述桌台或所述3D位移计中至少其一凭借进退移动装置沿着前述桌台的边缘移动，所述判定装置具有以下功能：凭借所述3D位移计所测定的资料与已凭借深度学习而学习的资料进行比较，而判定玻璃基板断开面的情形的功能。本技术系将3D位移计所检测的3维高度资料与玻璃反射率组合，应用深度学习系统对区域的区别进行研究，并以此为基本，其为与现有检查装置完全不同的检查装置。本技术中，3D位移计为使用雷射位移计将对象物平面影像(明暗影像资料)及到所述对象物的距离(对象物高度)同时作为资料进行取出的装置，在玻璃断面端检查中，使用成像及所测定的玻璃断面影像资料及玻璃断面高度资料，而获得所谓玻璃断面的立体形状资料，可检测到现有2D相机的影像处理所无法捕捉到的、对于无反射率变化的表面状态中有凸凹状态差异的区域。根据上述3D位移计所得的玻璃断面影像资料及玻璃断面高度资料而成的3维(3D)资料影像中，要用现有影像处理技术分析是非常困难的，故于具有深度学习(DeepLearning)的分割功能的判定装置中，与已进行深度学习的学习完成的资料比较，即可进行高精度判定，也即，对于切割刀压入部、肋纹部、浸透部可以接近人工进行的区域判断。肋纹、浸透部因裁切条件而对比及密度较低，此系现有影像处理无法确认的情形，对此，即使是此情形，人也可做一定程度判断，但本技术的装置在如此情形中也可进行接近人为判断的高精度判断。又，虽然也可以对所有玻璃裁切面进行所述的这些检查，但测量切割刀的1圈范围即可充分达成目的。因此，即使是对数点进行点测定检查，其效果也是可令人期待的。[本技术的功效]如上述，根据本技术的玻璃基板的断开边缘的检查装置，并非如现有仅以平面影像资料判断肋纹，而是加入玻璃断面立体资料并作为3维资料影像读取，使用深度学习的分割功能，如此可与人为判别同样地以高精度判断切割刀压入部、肋纹部及浸透部。又，现有，玻璃裁切用切割刀是以预估的移动距离来判断寿命，运用上来说，无法经常性地使用切割刀寿命到最大限度，故会交换本来仍可使用的切割刀，但本技术可凭借高精度判断压入部、肋纹部及浸透部的各区域，而可获得切割刀刃寿命，可在真正条件变差前给出交换切割刀指示，可降低运用成本，且认为可进一步开发对于自动切割刀交换系统的指示系统。又，切割刀的切割变差时当然浸透也会变浅，故为了判定浸透，需取出玻璃并将玻璃废弃并裁切，此系需要以人手进行，凭借本技术的装置可在不报废玻璃下进行检查，若判断浸透区域不足时，则自动增加加压量，如此可长期间维持制品品质，可延长切割刀寿命，并可将所述的这些全自动化。附图说明图1是表示本技术的实施型态的部分省略侧视图。图2是同上的部分省略放大俯视图。图3是玻璃断开面的检查流程图。图4A～图4D是将3D位移计的资料形成为具有可视性的立体图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板的断开边缘的检查装置，其特征在于：具有桌台、吸取保持装置、3D位移计及判定装置；/n所述桌台以上表面用于承载玻璃基板的下表面；/n所述吸取保持装置用于将所述桌台所承载的所述玻璃基板保持在所述桌台；/n所述3D位移计配置于所述桌台的边缘外侧，用于捕捉所述玻璃基板断开面的成像；/n所述判定装置使用所述3D位移计的资料进行判定；/n所述桌台或所述3D位移计中至少其一凭借进退移动装置沿着所述桌台的边缘移动；/n所述判定装置还连接有数据库，数据库中储存有凭借深度学习而得到的资料，所述判定装置能够将所述3D位移计所测定的玻璃断面影像资料及玻璃断面高度与数据库中的资料进行比较，而判定玻璃基板断开面的状态。/n

【技术特征摘要】
20190909 JP 2019-003396U1.一种玻璃基板的断开边缘的检查装置，其特征在于：具有桌台、吸取保持装置、3D位移计及判定装置；
所述桌台以上表面用于承载玻璃基板的下表面；
所述吸取保持装置用于将所述桌台所承载的所述玻璃基板保持在所述桌台；
所述3D位移计配置于所述桌台的边缘外侧，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：白井明，藤木慎一，
申请(专利权)人：白井科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：日本;JP