一种喷嘴高度的微调装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种喷嘴高度的微调装置，包括底座、活塞块、旋钮和喷嘴；所述底座设置有进气通道和出气通道，所述进气通道和出气通道上下交错设置，所述活塞块设置有导气通道，所述导气通道的一端与出气通道相通，所述导气通道的另一端与进气通道相通，所述活塞块与旋钮上下滑动连接，转动旋钮可使活塞块上下移动，所述喷嘴可与活塞块固定连接。本实用新型专利技术所述的一种用于控制进气量的微调装置，能够实现喷嘴的上下微小调整，保证镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种喷嘴高度的微调装置
本技术涉及一种微调装置，尤其涉及一种喷嘴高度的微调装置。
技术介绍
在对晶元喷气镀膜时，需要控制气嘴与晶元之间的距离，以保证晶元的镀膜效果。调节气嘴与晶元之间的距离能够调节晶元与气嘴之间的气体浓度。但是气嘴与晶元之间的距距离不能大幅度调节，否则会产生较大的偏差。
技术实现思路
专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种喷嘴高度的微调装置，以实现对气嘴与晶元之间距离的微调。技术方案：为实现上述目的，本技术的一种喷嘴高度的微调装置，包括底座、活塞块和旋钮；所述底座设置有进气通道和出气通道，所述进气通道和出气通道上下交错设置，所述活塞块设置有导气通道，所述导气通道的一端与出气通道相通，所述导气通道的另一端与进气通道相通，所述活塞块与旋钮上下滑动连接，转动旋钮可使活塞块上下移动。进一步地，还包括支撑座；所述支撑座连接于所述底座的上表面，所述底座设置有与进气通道和出气通道相通的下通腔，所述支撑座设置有上通腔，所述上通腔与下通腔相通，所述活塞块滑动连接于所述上通腔和下通腔中。进一步地，所述旋钮旋转连接于所述上通腔的顶部，所述活塞块的顶端通过螺纹与旋钮连接。进一步地，所述活塞块包括本体和连接块，所述连接块与本体固定，所述连接块通过螺纹与旋钮连接。进一步地，所述活塞块的底部设置有第一空腔，所述第一空腔与出气通道相通，所述第一空腔的侧壁上设置有若干进气孔，所述进气孔与所述进气通道相通，所述进气孔与第一空腔连通组成导气通道。进一步地，所述第一空腔的底部连接有喷嘴，所述喷嘴滑动连接于出气通道中。有益效果：本技术的一种喷嘴高度的微调装置，所述活塞上下移动，同时带动喷嘴上下移动，从而能够调节喷嘴与晶元之间的距离；所述活塞块通过螺纹与旋钮连接，扭动旋钮就能实现活塞块的上下移动，从而实现喷嘴的微调。附图说明附图1为本技术的结构示意图；附图2为本技术的结构俯视图；附图3为附图2中A-A的结构剖视图；附图4为附图2中B-B的结构剖视图；附图5为本技术的结构爆炸图；附图6为本技术所述本体的结构示意图。具体实施方式下面结合附图1至附图6对本技术作更进一步的说明。一种喷嘴高度的微调装置，包括底座1、活塞块2、旋钮3和支撑座6。所述支撑座6固定连接于所述底座1上。所述支撑座6设置有上通腔8，所述底座1设置有下通腔7，所述上通腔8与下通腔7上下相对且相通。所述活塞块2滑动连接于所述上通腔8和下通腔7中。所述上通腔8和下通腔7之间所述底座1上设置有进气通道4和出气通道5，所述进气通道4和出气通道5上下交错设置，所述活塞块2设置有导气通道，所述导气通道的一端与出气通道5相通，所述导气通道的另一端与进气通道4相通，且所述活塞快2无论上移或下移至任意极限位置时，所述导气通道的两端始终与进气通道4和出气通道5连通。所述活塞块2的顶端与旋钮3通过螺纹连接，转动旋钮3可使活塞块2上下移动。所述旋钮3设置于所述上通腔8的顶部，并通过轴承13与支撑座6旋转连接。所述旋钮3通过盖板14压在支撑座6上。所述活塞块包括连接部10和本体9，所述连接部10固定连接于本体9上，所述连接部10上通过螺纹与旋钮连接。所述活塞块2的底部设置有第一空腔11，所述第一空腔11与出气通道5相通，所述第一空腔11的侧壁上设置有若干进气孔12，所述活塞块2滑动致使进气孔12与进气通道4逐渐相通，所述进气孔12与第一空腔11连通组成导气通道。所述第一空腔11的底端可连接固定有喷嘴15，所述活塞上下移动带动喷嘴15上下移动。在所述支撑座6与底座1之间、活塞块2与上通腔8的接触面上、以及喷嘴与15活塞块2之间均设置有密封圈。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出：对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷嘴高度的微调装置，其特征在于：包括底座(1)、活塞块(2)和旋钮(3)；所述底座(1)设置有进气通道(4)和出气通道(5)，所述进气通道(4)和出气通道(5)上下交错设置，所述活塞块(2)设置有导气通道，所述导气通道的一端与出气通道(5)相通，所述导气通道的另一端与进气通道(4)相通，所述活塞块(2)与旋钮(3)上下滑动连接，转动旋钮(3)可使活塞块(2)上下移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴高度的微调装置，其特征在于：包括底座(1)、活塞块(2)和旋钮(3)；所述底座(1)设置有进气通道(4)和出气通道(5)，所述进气通道(4)和出气通道(5)上下交错设置，所述活塞块(2)设置有导气通道，所述导气通道的一端与出气通道(5)相通，所述导气通道的另一端与进气通道(4)相通，所述活塞块(2)与旋钮(3)上下滑动连接，转动旋钮(3)可使活塞块(2)上下移动。


2.根据权利要求1所述的一种喷嘴高度的微调装置，其特征在于：还包括支撑座(6)；所述支撑座(6)连接于所述底座(1)的上表面，所述底座(1)设置有与进气通道(4)和出气通道(5)相通的下通腔(7)，所述支撑座(6)设置有上通腔(8)，所述上通腔(8)与下通腔(7)相通，所述活塞块(2)滑动连接于所述上通腔(8)和下通腔(7)中。


3.根据权利要求2所述的一种喷嘴高度的微调装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕健，
申请(专利权)人：无锡升滕半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32