用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，包括一容器，其特征在于：所述容器是由内胆和外壳构成的双层结构容器，内胆上设有可拆卸上盖，内胆下部设有过滤板，内胆上部设有可上下运动的压板，与压板连接设有压板驱动机构，内胆底部设有排液阀门，所述内胆和外壳之间的夹层内设有超声线圈。本实用新型专利技术操作简便，能快速完成过滤操作，过滤效果好，实现了过滤和纯化在一个装置中进行，既免去了多余的洗涤设备，又避免了滤饼在转移过程中受到环境污染。

【技术实现步骤摘要】
用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置
本技术涉及一种光刻胶成膜树脂的处理装置，具体涉及一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置。
技术介绍
光刻胶是目前制造先进集成电路的关键材料。光刻胶的成膜材料是各类光刻胶树脂。目前主流的ArF和KrF光刻胶都是通过自由基聚合制备出树脂溶液，然后再通过沉淀剂将树脂固体析出。由于半导体芯片要求纯度极高，都需要对树脂进行多次沉淀洗涤。沉淀后的树脂颗粒较小，在过滤时会吸附少量沉淀剂。由于沉淀剂包含小分子量的树脂，残留在树脂上后对光刻胶性能有害。为了除去这部分含杂质沉淀剂，则需要多次的洗涤过滤。现有技术中，采用的方法是，反复地将滤饼拿出，然后加入洗涤剂搅拌打碎洗涤。在固液分离时，由于树脂固体比较细，普通的过滤方法存在过滤时间长，过滤不干净的问题。同时，过滤后滤饼还需要取出再次洗涤，在这个过程中需要不断地与外界接触，增大了树脂被环境二次污染的风险。因此，迫切需要开发一种操作简便，避免与外界环境接触的树脂溶液过滤纯化的装置。
技术实现思路
本技术的专利技术目的是提供一种用于光刻胶成膜树脂的过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，包括一容器，其特征在于：所述容器是由内胆和外壳构成的双层结构容器，内胆上设有可拆卸上盖，内胆下部设有过滤板，内胆上部设有可上下运动的压板，与压板连接设有压板驱动机构，内胆底部设有排液阀门，所述内胆和外壳之间的夹层内设有超声线圈。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，包括一容器，其特征在于：所述容器是由内胆和外壳构成的双层结构容器，内胆上设有可拆卸上盖，内胆下部设有过滤板，内胆上部设有可上下运动的压板，与压板连接设有压板驱动机构，内胆底部设有排液阀门，所述内胆和外壳之间的夹层内设有超声线圈。


2.根据权利要求1所述的用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于：所述过滤板与内胆间为可拆式连接，过滤板上铺设有滤膜。


3.根据权利要求1所述的用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于：所述压板驱动机构包括与压板固定连接的伸缩棒、电机和传动机构，所述传动机构将电机的转动转换为伸缩棒的直线运动。


4.根据权利要求1所述的用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马潇，周浩杰，许东升，祝晓岚，陈鹏，樊丹，毛智彪，许从应，
申请(专利权)人：宁波南大光电材料有限公司，江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33