整体式超净光学平台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种整体式超净光学平台，其特点是洁净层流罩与通用光学台面直接连机成为一体式洁净工作平台。本实用新型专利技术在洁净层罩顶部设置有数个高效过滤器，在高效过滤器中的高效风机与通用光学平台间设置有三道减震器，整体结构更为紧凑，光学平台稳定性能好，且提高了工作环境的洁净度。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于通用光学设备领域，具体涉及新型整体式超净光学平台。2、
技术介绍
在许多科学实验和工程应用中，都需要在一定洁净要求的环境中进行工作。为了达到所需的洁净工作环境，通常的做法是1、建立洁净间；2、建立局部的区域洁净环境。工作环境洁净度的要求通过高效过滤器来实现。由于洁净区域的大小、洁净程度的高低都与建造成本、运行费用直接相关，在小范围洁净要求的地方，往往采用区域洁净的办法，如工作平台上需要洁净环境，就在平台上建立一个移动超净间，通过移动超净间上的高效过滤器达到洁净的要求。移动超净间与工作平台都放置在地基上，它们之间在结构上不发生关系，这是由于移动超净间上有电机，如直接与工作平台相连，由于电机转动会影响工作平台的稳定性。这种移动超净间与工作平台的分体式结构虽然满足了洁净度和稳定性要求，但有如下缺点1)、移动超净间须与工作平台在结构上分离，结构不紧凑；2)、间隙较大，需要大风量达到洁净度要求；3)、在一些特殊场地，不易实施。
技术实现思路
为了克服已有技术中，移动超净间与工作平台在结构上分离，从而影响洁净度和稳定性的不足，本技术提供一种整体式超净光学平台，洁净层流罩直接设置在光学台面上。本技术实现高效风机与光学台面直接连机，设置成为整体式工作平台，解决了高效风机对光学台面振动传递的隔离问题。本技术的整体式超净光学平台含有光学台面和洁净层流罩；光学台面为普通的具有一定刚性和稳定性的工作平台；洁净层流罩的顶板部分设置有数个高效过滤器，高效过滤器框体内依次设置有预过滤器、风机、风机支架、过滤层，风机支架固定设置在高效过滤器框体内，风机和风机支架之间设置有减震器I；预过滤器、高效风机、高效过滤层、减振器、风机支架构成具有隔振功能高效过滤器。在风机和风机支架间设置有减振器I，实现对风机的第一级隔振，减振器I为弹簧结构；高效过滤器和洁净层流罩的外罩之间设置有减震器II，外罩和光学平台之间设置有减震器III。高效过滤器通过设置在洁净层流罩上的减震器II与洁净层流罩连接，洁净层流罩的外罩通过设置在光学平台的减震器III与光学平台固定连接。高效风机为可调速风机，以避开共振区域。高效过滤器和外罩间设置的减振器II为空心橡胶管，减振器II设置在高效过滤器外壳的四周，实现对高效风机的第二级隔振，减振器II选用橡胶材料，具有一定的密封功能；在外罩和光学台面间设置的减振器III的材料采用橡胶板，减振器III设置于光学平台上周边，实现对风机的第三级隔振和密封。本技术的整体式超净光学平台的有效益效果是，适用范围宽，适宜用大型高功率固体激光装置诊断设备，通用超净光学实验平台，通用超净光学元件检测、安装平台，通用超净光电器件检测、安装、实验平台，药理性实验、检测，其它需要超净和高稳定性要求的设备和实验平台。高效风机与光学台面的直接连机，设置为整体式工作平台，易达到洁净度的要求。洁净层流罩可使罩内环境达到100级洁净度要求。高效风机与光学台面间采取三道串联式隔振措施，每道隔振设计不同，保证光学台面的稳定性要求。4附图说明图1为本技术整体式超净光学平台的总体结构示意图1.预过滤器、2.风机 3.高效过滤层 4.减振器I 5.风机支架 6.减振器II7.外罩 8.减振器III具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步描述图1中，技术的整体式超净光学平台含有光学台面和洁净层流罩。光学台面为普通的具有一定的刚性和稳定性的工作平台；洁净层流罩的顶板部分设置有2个高效过滤器，高效过滤器框体内依次设置有预过滤器1、风机2、风机支架5、过滤层3，风机支架5固定设置在高效过滤器框体内，风机2和风机支架5之间设置有减震器I；预过滤器1、风机2、高效过滤层3、减振器I4、风机支架5构成具有隔振功能高效过滤器。在风机2和风机支架5间设置有减振器I4，减振器I4为弹簧结构；高效过滤器和洁净层流罩的外罩7之间设置有减震器II6，外罩7和光学平台之间设置有减震器III8。高效过滤器通过设置在洁净层流罩上的减震器II6与洁净层流罩连接，洁净层流罩的外罩7通过设置在光学平台的减震器III8与光学平台固定连接。高效过滤器和外罩7间设置的减振器II6为空心橡胶管，减振器II6设置在高效过滤器外壳的四周；在外罩7和光学台面间设置的减振器III8的材料采用橡胶板，减振器III8设置于光学平台上周边，外罩7通过减振器III8固定连接在光学平台上。风机2为可调速风机。本技术的整体式超净光学平台结构紧凑，洁净度高，稳定性好，适用于多种实验检测平台。权利要求1.一种整体式超净光学平台，含有光学平台和洁净层流罩，其特征在于在洁净层流罩的顶板部分设置5个高效过滤器，高效过滤器框体内依次设置有预过滤器(1)、风机(2)、风机支架(5)、过滤层(3)，风机支架(5)固定设置在高效过滤器框体内，风机(2)和风机支架(5)之间设置有减震器I(4)；高效过滤器和洁净层流罩的外罩(7)之间设置有减震器II(6)，高效过滤器通过设置在洁净层流罩上的减震器II(6)与洁净层流罩连接；外罩(7)和光学平台之间设置有减震器III(8)，洁净层流罩的外罩(7)通过设置在光学平台的减震器III(8)与光学平台固定连接。2.根据权利要求1所述的一种整体式超净光学平台，其特征在于所述的风机(2)和风机支架(5)之间设置的减震器I(4)为弹簧结构。3.根据权利要求1所述的一种整体式超净光学平台，其特征在于高效过滤器和外罩(7)间的减震器II(6)设置在高效过滤器外壳的四周，减震器II(6)为空心橡胶管。4.根据权利要求1所述的一种整体式超净光学平台，其特征在于所述的洁净层流罩的外罩(7)和光学平台之间的减震器III(8)设置在光学平台上周边，减震器III(8)为橡胶板。5.根据权利要求1所述的一种整体式超净光学平台，其特征在于风机(2)为调速风机。专利摘要本技术提供了一种整体式超净光学平台，其特点是洁净层流罩与通用光学台面直接连机成为一体式洁净工作平台。本技术在洁净层罩顶部设置有数个高效过滤器，在高效过滤器中的高效风机与通用光学平台间设置有三道减震器，整体结构更为紧凑，光学平台稳定性能好，且提高了工作环境的洁净度。文档编号G01N21/00GK2722234SQ200420033860公开日2005年8月31日 申请日期2004年6月2日 优先权日2004年6月2日专利技术者周海 申请人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种整体式超净光学平台，含有光学平台和洁净层流罩，其特征在于：在洁净层流罩的顶板部分设置５个高效过滤器，高效过滤器框体内依次设置有预过滤器（１）、风机（２）、风机支架（５）、过滤层（３），风机支架（５）固定设置在高效过滤器框体内，风机（２）和风机支架（５）之间设置有减震器Ⅰ（４）；高效过滤器和洁净层流罩的外罩（７）之间设置有减震器Ⅱ（６），高效过滤器通过设置在洁净层流罩上的减震器Ⅱ（６）与洁净层流罩连接；外罩（７）和光学平台之间设置有减震器Ⅲ（８），洁净层流罩的外罩（７）通过设置在光学平台的减震器Ⅲ（８）与光学平台固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周海，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：实用新型
国别省市：51[中国|四川]