下载整体式超净光学平台的技术资料

文档序号:2611663

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本实用新型提供了一种整体式超净光学平台,其特点是洁净层流罩与通用光学台面直接连机成为一体式洁净工作平台。本实用新型在洁净层罩顶部设置有数个高效过滤器,在高效过滤器中的高效风机与通用光学平台间设置有三道减震器,整体结构更为紧凑,光学平台稳定性...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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