一种火焰探测器用红外带通滤光片制造技术

一种火焰探测器用红外带通滤光片，包括前表面膜系、基底、后表面膜系，前表面及后表面膜系均由锗材料和一氧化硅材料相互叠加而成。其在工作波段2.7‑4.4um内具有高的透过率，而在其他波段截止。与目前火焰传感器用滤光片，相比具有透过率高，截止深度高的特点，配合火焰探测器使用，有益的提高了探测器的信噪比及其使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种火焰探测器用红外带通滤光片
本技术涉及一种红外滤光片，尤其是2.7-4.4um微米波长范围的窄带滤光片。
技术介绍
火焰探测器是通过探测在物质燃烧时，产生烟雾和放出热量的同时，也产生可见的或大气中没有的不可见的光辐射，来实现对于火焰预警作用的探测器。对于火焰中产生的2.5~3微米波长的红外线，大多采用硫化铝材料的传感器，而对于火焰产生的4.4~4.6微米波长的红外线一般采用硒化铅材料或钽酸铝材料的传感器。根据不同燃料燃烧发射的光谱而选择不同的传感器。而红外滤光片作为探测器中的重要组成部分，对于火焰的红外能量的感应有着至关重要的作用。然而目前市面上火焰探测器大都采用有色玻璃当做滤光片，其对于红外光，尤其是2.7-4.4um的带通范围的滤光和透光效果均不理想，造成火焰传感器的灵敏度，信噪比都比较差，对于火焰的误判率较大，不利于火焰传感器的实际应用。因此设计一款有益于该截止范围内高信噪比的滤光片对于火焰探测器行业尤为重要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高信噪比、便于生产加工，且成本低廉的火焰探测器用滤光片。采本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种火焰探测器用红外带通滤光片，其特征在于：其截止范围为2.7-4.4um，包括前表面膜系，基底，后表面膜系，前表面膜系是由锗Ge材料和一氧化硅SiO材料相互叠加蒸镀的27层膜系，后表面膜系同样由锗Ge材料和一氧化硅SiO材料相互叠加蒸镀的11层膜系，其基底为硅基底，该滤光片的前表面膜系第一层至第27层构成材料及厚度如下：44纳米SiO，89纳米Ge，184纳米SiO，429纳米Ge，866纳米SiO ，366纳米Ge，817纳米SiO，358纳米Ge，812纳米SiO，357纳米Ge，813纳米SiO，359纳米Ge，828纳米SiO，367纳米Ge，861纳米SiO，396纳米Ge，9...

【技术特征摘要】
1.一种火焰探测器用红外带通滤光片，其特征在于：其截止范围为2.7-4.4um，包括前表面膜系，基底，后表面膜系，前表面膜系是由锗Ge材料和一氧化硅SiO材料相互叠加蒸镀的27层膜系，后表面膜系同样由锗Ge材料和一氧化硅SiO材料相互叠加蒸镀的11层膜系，其基底为硅基底，该滤光片的前表面膜系第一层至第27层构成材料及厚度如下：44纳米SiO，89纳米Ge，184纳米SiO，429纳米Ge，866纳米SiO，366纳米Ge，817纳米SiO，358纳米Ge，812纳米SiO，357纳米Ge，813纳米SiO，359纳米Ge，828纳米SiO，367纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：单森林，
申请(专利权)人：森霸传感科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41