一种扫描探针电阻测试系统技术方案

一种扫描探针电阻测试系统，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，基准平板上设有Y轴位移台，Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，支撑结构顶部设有X轴位移台，X轴位移台中间位置设有Z轴位移台，Z轴位移台上固定安装有探针头，基准平板的一侧设有计算机。本实用新型专利技术的优点在于：可以实现用程序自动测量和更换样品点，从而完成大量样品尤其是样品电阻分布的测量，系统包含显微摄像头，用于监控测试过程、定位样品点位置、观察样品及探针状态等，基准平板用于提供基准平面，有助于样品的精确定位。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描探针电阻测试系统
本技术涉及一种测试系统，尤其涉及一种扫描探针电阻测试系统。
技术介绍
电阻测试仪，是测量物体导电性的一种仪器，电阻测试仪被广泛的应用于电气安全检查与接地工程竣工验等场合，电阻测试仪的种类比较多，包括接地电阻测试仪、绝缘电阻测试仪、接地电阻测试仪、直流电阻测量仪、表面电阻测试仪以及回路电阻测试仪。传统电阻测量仪采用手动方法定位测试点位置，一次只能测量一个样品，这种方式对于少量样品是可以接受的，但是对于大量样品，尤其是对于膜层的电阻分布这类测试任务则难以胜任。因此，需要设计一种可以对大批量样品进行测试的测试系统。
技术实现思路
根据以上技术问题，本技术提供一种扫描探针电阻测试系统，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，所述基准平板上设有Y轴位移台，所述Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，所述支撑结构顶部设有X轴位移台，所述X轴位移台一端设有显微摄像头，所述X轴位移台中间位置设有Z轴位移台，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，所述基准平板上设有Y轴位移台，所述Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，所述支撑结构顶部设有X轴位移台，所述X轴位移台一端设有显微摄像头，所述X轴位移台中间位置设有Z轴位移台，所述Z轴位移台上固定安装有探针头，所述探针头通过螺栓实现与Z轴位移台的固定，所述基准平板的一侧设有计算机，所述计算机分别通过数据线与测量仪表、位移台控制器相连接，所述计算机通过导线与显微摄像头连接，所述测量仪表与探针头、位移台控制器与Y轴位...

【技术特征摘要】
1.一种扫描探针电阻测试系统，其特征在于，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，所述基准平板上设有Y轴位移台，所述Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，所述支撑结构顶部设有X轴位移台，所述X轴位移台一端设有显微摄像头，所述X轴位移台中间位置设有Z轴位移台，所述Z轴位移台上固定安装有探针头，所述探针头通过螺栓实现与Z轴位移台的固定，所述基准平板的一侧设有计算机，所述计算机分别通过数据线与测量仪表、位移台控制器相连接，所述计算机通过导线与显微摄像头连接，所述测量仪表与探针头、位移台控制器与Y轴位移台、X轴位移台、Z轴位移台分别通过导线实现电连接，所述Y轴位移平台上设有样品托盘，所述样品托盘通过螺栓与Y轴位移平台实现固定连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：张海涛，
申请(专利权)人：天津丘山仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12