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一种扫描探针电阻测试系统，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，基准平板上设有Y轴位移台，Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，支撑结构...
该专利属于天津丘山仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津丘山仪器科技有限公司授权不得商用。

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