一种变温电阻传感器制造技术

一种变温电阻传感器，包括条状带、输入电流引脚、输出电流引脚、第一检测电压引脚、第二检测电压引脚，条状带循环盘绕形成八个同心环结构，条状带由器件基底、受试样品、保护层构成，器件基底上刻有同心环结构，同心环结构内镀有受试样品，受试样品表面覆有保护层，条状带所构成的同心环的首端和尾端分别引出输入电流引脚、输出电流引脚，条状带所构成的同心环的外侧分别引出第一检测电压引脚、第二检测电压引脚。本实用新型专利技术具有出色的温度均匀性，且价格低廉，易于制造，关键在于：第一，传感器的温度由传感器的加热功率间接确定，而不是直接用热电偶或热敏电阻测量温度；第二，被研究的材料本身即作为受试样品又同时作为被测量的样品。

【技术实现步骤摘要】
一种变温电阻传感器
本技术涉及一种电阻传感器，尤其涉及一种变温电阻传感器。
技术介绍
材料的电阻率敏感地依赖于其微观结构和成分，通过测量材料随温度变化的电阻可以揭示微观结构和相组成随温度的变化，这项技术长期以来被用于研究各种材料的相变过程，应用于包括形状记忆合金，金属玻璃，相变存储材料和超导体等多种材料。传统的变温电阻测量方法通常在块状样品上进行，这种方法一般一次实验只能完成一个样品的制备和测量。这种方法对于单纯确定样品的转变温度是有效的，然而对于复杂组成成分的材料体系，这种方法可能需要大量昂贵且难以合成的样品，尤其是当组成元素超过两个的时候，这种方法很难满足研究需求。材料的组合合成与高通量表征的结合为加速材料的开发提供了一个强大的方法。使用磁控溅射沉积元素分布的薄膜是组合合成方法的一种。然而，此种组合材料样品库中每个样品的尺度和样品量都非常小，因此对组合材料样品库进行变温测量并不容易。波鸿大学的Ludwig教授及其同事开发了一种基于微机电(MEMS)工艺的热盘传感器(hotplatesensor)，可以测量组合样品库的电阻随温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种变温电阻传感器，其特征在于，包括条状带、输入电流引脚、输出电流引脚、第一检测电压引脚、第二检测电压引脚，所述条状带循环盘绕形成N个同心环结构，N≥3，所述条状带由器件基底、受试样品构成，所述器件基底上采用光刻的方式刻有同心环结构，所述同心环结构内镀有受试样品，所述条状带所构成的同心环的首端和尾端分别引出输入电流引脚、输出电流引脚，所述条状带所构成的同心环的外侧分别引出第一检测电压引脚、第二检测电压引脚。/n

【技术特征摘要】
1.一种变温电阻传感器，其特征在于，包括条状带、输入电流引脚、输出电流引脚、第一检测电压引脚、第二检测电压引脚，所述条状带循环盘绕形成N个同心环结构，N≥3，所述条状带由器件基底、受试样品构成，所述器件基底上采用光刻的方式刻有同心环结构，所述同心环结构内镀有受试样品，所述条状带所构成的同心环的首端和尾端分别引出输入电流引脚、输出电流引脚，所述条状带所构成的同心环的外侧分别引出第一检测电压引脚、第二检测电压引脚。


2.按照权利要求1所述的一种变温电阻传感器，其特征在于，还包括有保护层，所述保护层覆在受试样品的表面。


3.按照权利要求2所述的一种变温电阻传感器，其特征在于，所述保护层的材质为氮化硅，或者氮化硅，或者氮化铝，或者氧化硅，或者氧化铝，或者氧化锌，或者氧化铪，或者氧化钛，其厚度为0.01-3μm。

【专利技术属性】
技术研发人员：张海涛，
申请(专利权)人：天津丘山仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12