真空X荧光能量色散光谱仪制造技术

一种高精度Ｘ荧光能量色散光谱仪，包括机身和与之相连的电脑，所述机身包括箱体、移动平台以及准直器滤光片自动更换系统，其中，所述移动平台和准直器滤光片自动更换系统均安装于所述箱体中，所述准直器滤光片自动更换系统位于所述移动平台下方。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种微量元素检渊仪器，尤其是一种检瀕结果准确且精度很高的x荧光能量色散光谱仪。
技术介绍
目前进行全元素分析其他方法有很多，除了 x荧光分析法之外，还有电子能谱分析和无机质谱分析两大类这两大类中的其他方法主要如下 电子能谱分析俄歇电子能谱法(AES)，紫外光电子能谱法(11PS) 无机质谱分析感应耦合等离子体质谱仪(ICP-MS〉，微波感应等离子体质谱仪(MIP-MS)，火花源双聚焦质谱仪(SS"MS)，热电离质谱仪(TI-MS)， 辉光放电质谱仪(GIH S)，激光微探针质谱仪(liHiS)， 二次离子质谱仪 (SIMS)o针对镀层分析，目前行业主要分为两大类破坏法镀层检測，非破坏法镀层检渊方法。破坏法镀层检測方法必须将检糊部位做断面切片，经过金相研磨、抛光、化学腐蚀得到试样，通过CCD摄像到电脑中，通过计算机測量软件进行电 镀层断面的观察和搠量。这种检測方式的缺点为要破坏检測样品，所以 检測速度慢，只适合于抽检。非破坏性镀层检測方法除了本文将要介绍的X荧光方法外，还包括电磁 法、超声波等方式。但是这种方法的检測精度比较低，误判率比较高。本款仪器是采用X荧光分析方法，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空Ｘ荧光能量色散光谱仪，包括机身和与之相连的电脑，其特征在于：所述机身包括外壳（１）和真空探测系统（８），其中，所述真空探测系统位于外壳内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘召贵，
申请(专利权)人：深圳市天瑞仪器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[]