光学测量设备制造技术

本申请公开了光学测量设备，包括：发射多个波长的光的光源(1)；来自光源(1)的光通过其的第一共焦光阑(2)；光学照射/成像系统(BA)，至少包括：第一分光元件(4)，其被设计为棱镜或光栅，进入第一分光元件(4)的光被使得准直；及与第一分光元件(4)空间上分开的、具有至少一第一透镜的第一透镜系统(5)，第一透镜系统(5)的有效焦距(f(λ))对于不同波长而显著不同(λ)，使得光学照射/成像系统(BA)设计成使得不同波长的焦点被形成在不同位置，这些位置沿与第一透镜系统(5)的对称轴(40)形成锐角的线段(41)坐落。该测量设备配置成测量与所述线段(41)交叉并反射至少一部分光的物体(30)。

【技术实现步骤摘要】
光学测量设备
本技术涉及光学测量设备，尤其涉及用于测量物体的光色测量设备。
技术介绍
用于测量物体的光学测量设备已知。EP2076733B1公开了一种用于确定物体表面和厚度的测量仪器，其包括多色光源和具有色散元件的光学处理器部分，色散元件使直射在将要测量的物体上的光学辐射按非轴向色散。在该设备中，光学辐射的不同波长按物体表面的法线方向在不同高度聚焦。用于光学辐射的第二处理器部分将测量物体在镜面反射方向反射的光导向检测器，其配置成确定最大强度的波长以确定表面高度。
技术实现思路
本技术的目标在于提供一种改进的、用于测量物体的测量设备。本技术的一方面提出一种测量设备，包括发射多个波长的光源，其光通过第一共焦光阑射入光学照射/成像系统。该光学照射/成像系统包括第一分光元件，其被设计为棱镜或光栅。第一分光元件根据波长拆分光，即不同波长的光以相同角度射中分光元件但以不同角度离开该分光元件。在棱镜情形下，这因色散引起；在光栅情形下，一阶或更高阶的衍射(正或负阶衍射)用作光学输出并进行光谱拆分。在该过程中，光进入第一分光元件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种彩色共焦测量设备，包括发射多个波长的光的光源(1)，其特征在于，所述彩色共焦测量设备还包括；/n-来自光源(1)的光通过其的第一共焦光阑(2)；/n-光学照射/成像系统(BA)，至少包括：/n--第一分光元件(4)，其被设计为棱镜或光栅，进入第一分光元件(4)的光被使得准直；及/n--与第一分光元件(4)空间上分开的、具有至少一第一透镜的第一透镜系统(5)，第一透镜系统(5)的有效焦距对于不同波长而显著不同，使得光学照射/成像系统(BA)设计成使得不同波长的焦点被形成在不同位置，这些位置沿与第一透镜系统(5)的对称轴(40)形成锐角的线段(41)坐落；/n-所述测量设备配置成测量与所述...

【技术特征摘要】
20181204 DE 102018130901.51.一种彩色共焦测量设备，包括发射多个波长的光的光源(1)，其特征在于，所述彩色共焦测量设备还包括；
-来自光源(1)的光通过其的第一共焦光阑(2)；
-光学照射/成像系统(BA)，至少包括：
--第一分光元件(4)，其被设计为棱镜或光栅，进入第一分光元件(4)的光被使得准直；及
--与第一分光元件(4)空间上分开的、具有至少一第一透镜的第一透镜系统(5)，第一透镜系统(5)的有效焦距对于不同波长而显著不同，使得光学照射/成像系统(BA)设计成使得不同波长的焦点被形成在不同位置，这些位置沿与第一透镜系统(5)的对称轴(40)形成锐角的线段(41)坐落；
-所述测量设备配置成测量与所述线段(41)交叉并反射至少一部分光的物体(30)；
-所述测量设备包括与光学照射/成像系统(BA)空间上分开的光学检测/成像系统(DA)，光学检测/成像系统(DA)配置成仅接收由物体(30)反射的、与来自与照射光射中物体的方向不同方向的光；光学检测/成像系统(DA)配置成使所有波长的焦点成像在第二共焦光阑(9)上；及
-所述测量设备包括检测器(10)，配置成记录通过第二共焦光阑(9)的光的强度。


2.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，第一透镜系统(5)对于光源(1)的最小波长的焦距与第一透镜系统对于光源(1)的最大波长的焦距相差量δf，δf与第一透镜系统(5)对于平均波长的焦距f0的商大于5％。


3.根据前面任一权利要求所述的测量设备，其特征在于，焦点位置的轴向拆分至少为焦点位置的横向拆分的0.1倍。...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·迪茨，
申请(专利权)人：普雷茨特光电有限公司，
类型：新型
国别省市：德国;DE