液体喷出头以及打印机制造技术

本发明专利技术提供一种振动板的位移量较大的液体喷出头以及打印机。液体喷出头包括：喷嘴板，其设置有喷出液体的喷嘴孔；硅基板，其设置有压力产生室，所述压力产生室与所述喷嘴孔连通；振动板，其被设置于所述硅基板上；压电元件，其被设置于所述振动板上，并使所述压力产生室的容积发生变化，所述压电元件具有压电体层，所述压电体层包括含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物，在所述压电体层的X射线衍射中，源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置、与源自所述硅基板的(220)面的峰值的位置的差值小于25.00°。

【技术实现步骤摘要】
液体喷出头以及打印机
本专利技术涉及液体喷出头以及打印机。
技术介绍
作为液体喷出头的代表例，例如，存在一种通过压电元件而使振动板变形从而对压力产生室的油墨进行加压，并使该油墨作为油墨滴而从喷嘴孔喷出的喷墨式记录头。作为在喷墨式记录头中使用的压电元件，如例如专利文献1那样，存在通过两个电极来夹着压电体层而被构成的压电元件，其中，所述压电体层由呈现电气机械转换功能的压电材料、例如结晶化的介电材料而构成。上述的这种液体喷出头中所使用的振动板的位移量被要求得较大。专利文献1：日本特开2015-193228号公报
技术实现思路
本专利技术所涉及的液体喷出头的一个方式包括：喷嘴板，其设置有喷出液体的喷嘴孔；硅基板，其设置有压力产生室，所述压力产生室与所述喷嘴孔连通；振动板，其被设置于所述硅基板上；压电元件，其被设置于所述振动板上，并使所述压力产生室的容积发生变化，所述压电元件具有压电体层，所述压电体层包含含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物，在所述压电体层的X射线衍射中，源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体喷出头，包括：/n喷嘴板，其设置有喷出液体的喷嘴孔；/n硅基板，其设置有压力产生室，所述压力产生室与所述喷嘴孔连通；/n振动板，其被设置于所述硅基板上；/n压电元件，其被设置于所述振动板上，并使所述压力产生室的容积发生变化，/n所述压电元件具有压电体层，所述压电体层包含含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物，/n在所述压电体层的X射线衍射中，源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置、与源自所述硅基板的(220)面的峰值的位置的差值小于25.00°。/n

【技术特征摘要】
20190419 JP 2019-0799801.一种液体喷出头，包括：
喷嘴板，其设置有喷出液体的喷嘴孔；
硅基板，其设置有压力产生室，所述压力产生室与所述喷嘴孔连通；
振动板，其被设置于所述硅基板上；
压电元件，其被设置于所述振动板上，并使所述压力产生室的容积发生变化，
所述压电元件具有压电体层，所述压电体层包含含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物，
在所述压电体层的X射线衍射中，源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置、与源自所述硅基板的(220)面的峰值的位置的差值小于25.00°。


2.如权利要求1所述的液体喷出头，其中，
在所述压电体层中，当将钛的原子浓度相对于钛的原子浓度与锆的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高部本规，板山泰裕，角浩二，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP