【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探测显微镜的探测扫描装置，更具体地说，涉及能使探测扫描设备产生更高的共振频率的探测显微镜的探测扫描装置。利用压电扫描器的装置可作为基于传统技术的扫描型探测显微镜的探测扫描装置的示例。在这种压电扫描器中，外加到压电元件电极上的电压与其位移率成非线性关系(电压-位移特性)，因此其位移率不大。由于要外加数百伏至上千伏电压到电极上，所以，当装置的罩面打开时，电极的周围需要屏蔽层或需要保护电路来降低其电压，所以操作此压电元件也是件困难的事情。针对以上难点，本专利技术的申请人开发了一种样品定位装置，在该装置中，作为Z轴方向粗调机件的脉冲电动机及螺丝之类的东西被内附有粘滞体的外套、加热器构件和平衡线圈构件代替；作为Z轴方向微调单元的压电单元也用簧片元件取代。使用本样品定位装置，所有有关传统型压电扫描器的问题都迎刃而解了。但是，只是在该装置中装备了Z轴方向的粗调构件及装在一起的Z轴向的微调机构，却没有把X和Y轴方向的扫描构件组装在一起。仅仅曾经使用过基于传统技术的样品定位装置，而没有考虑在带探测头的扫描中使用它的可能性。申请人开发了如图9所示的探测扫描装置。如...
【技术保护点】
一种探测显微镜的探测扫描装置，它通过接近或接触样品的表面来测量样品表面的形状及物理性能，其特征在于所述装置包括： 由弹性构件支撑的至少能在垂直所说样品表面的Ｚ轴方向被驱动的测量杆；和 固定在所述测量杆的所述样品表面一侧的端部的测量构件，后者通过位移放大构件放大所述测量杆的移动量；从而提高所述探测扫描装置的共振频率。
【技术特征摘要】
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