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探测显微镜的探测扫描装置制造方法及图纸
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下载探测显微镜的探测扫描装置的技术资料
文档序号:2601956
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簧片41连接到接受由第一个平衡线圈电动机产生的Z轴方向的力的测量杆8的样品侧的端部,探测头45固定在簧片41的末端。测量杆8由内管13借助于簧片11支撑着。测量杆8的移动量被簧片41放大并传到探测头45,从而使探测头45的位移量得到放大。因...
该专利属于精工电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过精工电子有限公司授权不得商用。
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