测试在净化室环境下使用的布料过滤效率的方法和装置制造方法及图纸

一种测试欲用来制作在制造半导体芯片的净化室环境中使用的工作服、口罩和手套的布料的过滤效率的方法和装置。所述装置包括，一支架；一气体电离器；一可选的加湿器；一颗粒发生器和一颗粒计数组件。在用电离气体除去测量室中的静电，并可选地调整测量室中的温度和湿度后，引入颗粒至测量室中。通过计量引入测量室中的颗粒总数和穿过布料样品的颗粒数来确定过滤效率。基于过滤效率，可以确定用这种布料制作的无尘服的使用寿命。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测试欲在净化室环境下使用的布料过滤效率的方法和装置，并进一步包括一种基于对布料过滤效率的计算来确定采用这种布料制造的无尘服使用寿命的方法。众所周知，半导体制造过程必须在不断引入洁净空气的净化室环境中进行。但是，在空气中存在的尘埃颗粒会产生可能使高密度和小尺寸半导体器件损害的沾污。当前对改进半导体制造技术的努力集中在通过消除产生尘埃颗粒的因素，来保持并控制净化室的洁净度方面。尘埃颗粒对产品产量，产品可靠性和产品质量有不良的影响。尘埃颗粒可能由象净化室中使用的工艺设备或消耗性材料等产生。净化室工作人员本身就是颗粒污染源，因为工作人员工作时在净化室内走动会不断产生尘埃。半导体芯片处理设备和消耗性材料已经改进到很少会产生任何颗粒沾污的程度。正是工作人员成了影响在净化室环境中制造的半导体器件质量的尘埃颗粒沾污的主要来源。理想情况下，半导体器件必须在没有任何人干预的条件下自动制造，但在目前的技术水平下还不可能。因此，一方面集中精力尽量减少制造过程的人工干预，同时，寻求在人工干预仍然必需时抑制颗粒的产生。在净化室工作的工作人员穿戴特殊设计的并欲在净化室使用的布料制造的无尘服，即无尘外套，无尘口罩和无尘手套。材料过滤的能力，即阻挡尘埃颗粒通过材料的能力称为过滤效率。为了增强工作人员所穿戴的无尘服的过滤效率，需要具有高过滤效率的高效布料。随着用无尘布料制造的服装的老化，其过滤效率降低，使得其过滤或阻挡由工作人员身体产生的沾污的尘埃颗粒通过的能力降低。结果，沾污颗粒被释放到环境中。用超过使用寿命的材料制造的衣服因而成为净化室中颗粒沾污的来源。相应地，精确测试无尘服过滤效率以确定其使用寿命是必需的。类似地，可以计算新开发的欲在净化室环境使用的布料的过滤效率，以确定其是否适合在这种场合下使用。因此，就有对设计用于测试欲在净化室环境中使用的布料的过滤效率的装置的需求，尤其需要适合在净化室内使用的这种装置。本专利技术的一个目的在于提供一种测量欲在制造半导体芯片的净化室环境中使用的布料的过滤效率的装置和方法。过滤效率是布料过滤，即阻挡尘埃颗粒沾污通过这种材料的能力的量度。一旦过滤效率已知，用这种布料制造的无尘服的使用寿命就可以确定。而且，测量过滤效率使得欲在净化室环境中使用的布料的设计更容易。为实现上述的和其他的优点，本专利技术提供一装置，用于测试欲在净化室环境中使用的布料的过滤效率，这种装置包括一固定被测布料样品的支架，和一提供支架和样品安装空间的测量室。此装置也提供一气体电离器，产生电离气体并引导电离气体从第一个阀门进入测量室以除去测量室中的静电。此装置进一步提供一颗粒发生器，产生颗粒并引导颗粒从第二个阀门进入测量室。引入系统的颗粒总数由颗粒计数组件的第一颗粒计数器计量。穿过样品的颗粒数由颗粒计数组件的第二颗粒计数器计量。在一实施例中，装置可选择地包括一过滤器，它过滤从装置的测量室排出的颗粒，以防止沾污净化室。在另一实施例中，装置可选择地包括一加湿器，它调整测量室的湿度。测量室的温度也可调整。根据本专利技术的另一方面，提供了一种用于计算欲在净化室环境中使用的布料的过滤效率的方法。所述方法包括把样品固定在支架中，通过引入电离气体到测量室，除去测量室中的任何静电；用加湿器通过一阀门引入水蒸气至测量室，可选地调整测量室的湿度；安装被测布料样品到测量室。样品被装进测量室并密闭地关闭测量室后，用颗粒发生器将颗粒引入到测量室。在所有颗粒引入后但在任何颗粒穿过样品前，由第一颗粒计数器计量引入测量室的颗粒总数。在足以使颗粒穿过样品的一段时间后，由第二颗粒计数器进行第二次测量，测量已穿过样品的颗粒数。布料样品的过滤效率从这些数据确定。以下结合附图说明本专利技术的实施例，其中图1是根据本专利技术用于测试欲在净化室环境中使用的布料的过滤效率装置的一实施例的示意图；图2A和图2B分别为图1中的支架在打开位置的顶视图和侧视图，其中支架的第一块板与第二块板在空间上分离；图2C和图2D分别为图1中的支架在关闭位置的顶视图和侧视图，其中支架的第一块板与第二块板接触。图3是根据本专利技术用于测试欲在净化室环境中使用的布料过滤效率的方法的一实施例的流程图。图4是用于测试欲在净化室环境中使用的布料的过滤效率装置的另一实施例的示意图，其中在图1的装置的基础上进一步包括一加湿器。图5是采用图4的装置测试欲在净化室环境中使用的布料过滤效率的方法的另一实施例的流程图。依据本专利技术的用于测试欲在净化室环境中使用的布料过滤效率的方法和装置，将参考图1到图5，在下面予以详细描述。参见图1，此过滤测试装置包括一气体电离器13，用于引入电离气体到测量室11的第一部分11a，和一颗粒发生器15，用于引入颗粒到测量室11的第一部分11a。一支架3，安装在测量室11的第一部分11a和第二部分11b之间。连接在测量室11上的一颗粒计数组件17，用于计量测量室11中的颗粒数。安装了一过滤器19，用来过滤从测量室11排出的颗粒。测量室可打开和关闭，以安装支架，因此，一测量室开/关部件20用于使测量室11的第二部分11b相对第一部分11a移动。其他开/关测量室和安装支架的方法也在本专利技术的范围之内。例如，测量室部分可以旋转打开。支架也可在测量室两部分中间的空间内滑下。测量室11的内表面涂敷有防静电膜11c。颗粒计数组件17包括一第一颗粒计数器17a和一第二颗粒计数器17b。第一颗粒计数器17a计量在颗粒穿过样品1之前，测量室11的第一部分11a中的离子数，其中样品1固定于支架3上并安装在测量室11中。第二颗粒计数器17b计量在颗粒穿过样品1之后，测量室11的第二部分11b中的离子数。如图2A到2D所示，支架3包括一第一块板3a和一第二块板3b，在它们各自的中心有一大小一样的中心开口3e。在第一板3a和第二板3b的预定位置形成有用于插入连接部件3c的孔(未示出)。当连接部件3c插入这些孔中时，连接部件3c就把第一块板3a连接到了第二块板3b。支架3的表面也涂敷有防静电膜3d。在打开位置(图2A和图2B)，其各自的开口(3e)有部分重叠，而在关闭的位置(图2C和图2D)，其各自的开口是对齐的。采用上述装置测试样品1(即欲在净化室环境下使用的布料)的过滤效率的方法，将参照图3予以描述。在步骤S1，工作人员展宽支架第一块板3a和第二块板3b之间的空间，如图2A所示，用于插入样品1，如用于在净化室环境下使用的无尘外套，无尘口罩，无尘手套或抹布的布料。第一块板3a通过连接部件3c连接到第二块板3b，以这种方式，即连接部件3c的一端插入在第一块板上形成的孔(未示出)中，其另一端插入在第二块板上形成的孔(未示出)中。当以相反的方向推或拉第一和第二块板3a和3b时，板3a和3b之间的空间展宽，板处于开启的位置。当第一和第二块板3a和3b分别在开启的位置时，把待测试的无尘布料样品1插入第一和第二块板3a和3b之间的空间，使得样品1覆盖所安装板上的中心开口3e。为使样品紧固在支架3上，板3a和3b移向图2C所示的关闭位置。注意，样品1必须足够大，以覆盖第一和第二块板3a和3b上的中心开口3e。在步骤S2，即除去步骤，工作人员打开气体电离器13的阀门V1(见图1)，因此使电离气体进入测量室11以除去测量室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试欲用于净化室环境的布料的过滤效率的装置，包括： 一支架，待测试的布料样品固定在该支架上； 一测量室，提供支架和样品的安装空间； 一气体电离器，产生电离气体并把电离气体通过第一阀门引入到测量室中； 一颗粒发生器，产生颗粒并把颗粒通过第二阀门引入到测量室中；和 一颗粒计数组件，计量通过颗粒发生器引入系统的颗粒总数及穿过样品的颗粒数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：林昌洙，金贤俊，韩允洙，李玉仙，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]