【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使用金属氧化物半导体气体传感器的气体检测，特别涉及使气体传感器发生温度变化来检测气体的技术。作为应用了温度变化的金属氧化物半导体气体传感器，有SnO2系的CO传感器TGS203(TGS203是费加罗技研的商品名称)。该气体传感器以150秒为周期进行动作，把最初的60秒分配给高温区，把接下来的的90秒分配给低温区，高温区的最终温度为300℃，低温区的最终温度为80℃，并用低温区结束时的金属氧化物半导体的电阻值，来检测CO。传感器的电阻值与CO浓度大体上成反比，氢和CO之间的相对灵敏度为1∶10，例如，氢1000ppm和CO 100ppm是等价的。此外，电阻值的初始分布，在CO 100ppm中为1～10KΩ。本专利技术人使应用了TGS203的CO检测装置高精度化，并对用相同的传感器使检测精度提高两倍以上的课题进行了研究。所研究的问题是传感器特性的漂移，TGS203从使用开始在约2个月左右电阻值最大增加2倍，其后，在数年间电阻值将下降到初始值的最大约1/2。由于TGS203的电阻值大体上反比于CO浓度，故这些漂移意味着CO的检测值将在现实值的2倍～1...
【技术保护点】
一种使其电阻值因气体而变化的金属氧化物半导体气体传感器的温度变化，来检测气体的气体检测方法，其特征在于：决定由在温度变化过程中的至少２个气体传感器构成的相位空间，在校准时，在多个检测对象气体浓度下，测定上述至少２个气体传感器信号，存储表 示在该相位空间中已使检测对象气体的浓度变化了时的轨迹的数据；在测定时，测定上述至少２个气体传感器信号，求出在该相位空间中的相位点，并根据从上述相位点向该所存储的轨迹上的投影和轨迹与相位点之间的距离，求气体浓度。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：盐入明，宇高利浩，新西一哉，高松和子，
申请(专利权)人：费加罗技研株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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