【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检查例如等离子体显示器或液晶板、或者CRT等彩色显示器的图形的外观检查装置。在显示器的制造中有必要在制造工序的中途检查是否未产生图形中欠缺或溢出或者异物的附着这样的缺陷。因此例如用沿X-Y方向移动自如的显微镜部和安装在该显微镜的上部的一个单色TDI行传感器把图形的图像变换成电气信号的外观检查装置来检查。但是例如在等离子体显示器中在由相互平行的凸条隔开的各行中虽然流入发出红(R)、绿(G)、蓝(B)各色光的荧光材料，但是即使在这种彩色等离子体显示器中分隔各行的凸条缺损而荧光材料流入相邻的区域产生混色，在仅备有一个单色TDI行传感器的外观检查装置中由于仅能检测辉度之差所以无法充分检查这种缺陷。因此，发表了用彩色TDI行传感器代替单色TDI行传感器的外观检查装置。彩色TDI行传感器把单色TDI行传感器的受光面与各个三原色相对应地划分成三份，在所划分的部分中针对各三原色变换成电气信号。因此，针对各色的受光面积为单色TDI行传感器的1／3，受光量减少。因此，为了得到与单色TDI行传感器相同的受光量，不得不把显微镜部的移动速度比现有的外观检查装置减慢。可是...
【技术保护点】
一种外观检查装置（１），其特征在于，备有：对大体上平板形的被测定物（Ｔ）保持垂直的状态而相对于该被测定物（Ｔ）沿Ｘ－Ｙ方向移动自如的显微镜部（２），设在该显微镜部（２）的成像位置而把被测定物表面的图像变换成电气信号的行传感器，以及照明等离子体显示器的紫外线照明装置；而且，配置把由上述显微镜部接收的来自被测定物的光分光成光的三原色的二向棱镜（３），并针对由该二向棱镜（３）和带通滤光镜（３３）所分光的各个三原色配置单色行传感器（３２）。
【技术特征摘要】
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