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一种外观检查装置，因为在沿Ｘ－Ｙ方向移动自如的显微镜部２上安装一个彩色ＴＤＩ行传感器的现有的外观检查装置中红（Ｒ）、绿（Ｇ）、蓝（Ｂ）各色成分的受光面积成为单色ＴＤＩ行传感器的受光面积的１／３，故为了缩短检查所需的节拍时间而不得不增加显微镜...
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