用于平面样品上形成定位标记的辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，包括：相对设置且供夹住平面样品的第一固定板和第二固定板，且该第一固定板和第二固定板可拆卸地连接，该第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；对第一固定板进行喷金，以透过条形孔于平面样品的表面形成定位标记线。本实用新型专利技术有效地解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后续的检测精度，且本装置结构简单，便于实现。

【技术实现步骤摘要】
用于平面样品上形成定位标记的辅助装置
本技术涉及芯片检测领域，特指一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置。
技术介绍
集成电路芯片持续往轻、薄、小、极高密度发展时，对于芯片缺陷的容忍度也相对降低，集成电路器件密集度提高，芯片的面积也对应缩小，在制造时可能会产生缺陷，而缺陷往往是造成芯片失效的主要原因。由于扫描式电子显微镜(SEM)分辨率较低，目前更多使用投射电子显微镜(TEM)观察芯片中的缺陷结构，而TEM样品需要经过双束离子束(DB-FIB)制备后才能进行分析。实际TEM样品制作过程中，芯片需要先在扫描电镜下定位缺陷的位置，但由于芯片上纳米级缺陷在扫描电镜下完全无法识别，难以精确地找出缺陷所在的位置，另外芯片存在多个重复的单元结构，即使是通过芯片的相对单元结构寻找缺陷的对应位置也十分困难，容易造成误认或盲切，对后续检测产生影响。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，其特征在于，包括：/n相对设置且供夹住所述平面样品的第一固定板和第二固定板，且所述第一固定板和所述第二固定板可拆卸地连接，所述第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；/n对所述第一固定板进行喷金，以透过所述条形孔于所述平面样品的表面形成定位标记线。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，其特征在于，包括：
相对设置且供夹住所述平面样品的第一固定板和第二固定板，且所述第一固定板和所述第二固定板可拆卸地连接，所述第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；
对所述第一固定板进行喷金，以透过所述条形孔于所述平面样品的表面形成定位标记线。


2.如权利要求1所述的用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，其特征在于，所述第一固定板远离所述条形孔的一侧开设有第一通孔；
所述第二固定板对应所述第一通孔开设有第二通孔，通过定位螺栓对应穿过所述第一通孔和所述第二通孔，以固定连接所述第一固定板和所述第二固定板。


3.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡齐航，谢亚珍，余维松，
申请(专利权)人：苏试宜特上海检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31