一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括机体、电控箱、升降支架、检测探头、阻接座、传动带、除尘器、导轨、工作台，本实用新型专利技术将晶圆片放在除尘器表面置物板上，第一吸尘头与第二吸尘头通过限位块保持安装角度，转盘通电磁接后由安装轴保持转动中点轴位置固定不变，具有固定环形轨迹的作用，置物板顺着限位块弧度活动吻合旋转，绕第一吸尘头、第二吸尘头下方空槽围转，通过负压气管将晶圆片表面的灰尘等颗粒物质不断从第一吸尘头、第二吸尘头开口收集排出，使得检测探头在扫描晶圆表面时能够不被假性瑕疵物质蒙蔽而误判断产品不合格，有效提高装置对晶圆表面平整度的检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置
本技术是一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，属于晶圆表面检测

技术介绍
芯片在电子领域中应用广泛，由晶圆制备得到芯片，芯片表面平整度的检测作业是为了光刻工艺的生产需要。现有工艺在对晶圆加工时，生产车间中带有的灰尘等颗粒物质容易掉落在加工晶圆材料上，导致检测装置在扫描晶圆表面加工情况时的数据不准确，误将质量合格的晶圆判断为残质品，容易加重二次检修人员的作业量。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，以解决在对晶圆加工时，生产车间中带有的灰尘等颗粒物质容易掉落在加工晶圆材料上，导致检测装置在扫描晶圆表面加工情况时的数据不准确，误将质量合格的晶圆判断为残质品，容易加重二次检修人员的作业量的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括机体、电控箱、升降支架、检测探头、阻接座、传动带、除尘器、导轨、工作台，所述机体表面槽面一体构成工作台，所述工作台表面中部位置配设有传动带，所述传动带相穿接导轨凹槽，所述工作台上设有位置固定不变的电控箱，所述电控箱上部配设高度可调节的升降支架，所述升降支架凹槽卡接有垂式检测探头，所述检测探头间隔置于除尘器表面上方处。进一步地，所述除尘器包括限位块、第一吸尘头、置物板、第二吸尘头、负压气管、转盘、轴承架、安装轴，所述限位块分设在第一吸尘头、第二吸尘头底壁处，所述第一吸尘头与第二吸尘头外端相径接负压气管，所述负压气管排设在轴承架外圈处，所述轴承架组合转盘连为一体，所述转盘中点通过安装轴卡接导轨凹槽，所述置物板外圈弧度活动吻合限位块，且上腔带有相间隔的第一吸尘头、第二吸尘头。进一步地，所述导轨装配在工作台表面局部位置上。进一步地，所述电控箱接线相连传动带线盒。进一步地，所述阻接座叠设在工作台靠后侧板面上。进一步地，所述检测探头设在对应导轨上方间隔处。进一步地，所述负压气管装配多管道负压风箱使用。进一步地，所述轴承架转动方向与置物板运动方向一致。有益效果本技术一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，晶圆片放在除尘器表面置物板上，第一吸尘头与第二吸尘头通过限位块保持安装角度，转盘作为置物板、轴承架的安装体，通电磁接后转动方向一致，通过安装轴保持转动中点轴位置固定不变，具有固定环形轨迹的作用，置物板顺着限位块弧度活动吻合旋转，绕第一吸尘头、第二吸尘头下方空槽围转，通过负压气管将晶圆片表面的灰尘等颗粒物质不断从第一吸尘头、第二吸尘头开口收集排出，使得检测探头在扫描晶圆表面时能够不被假性瑕疵物质蒙蔽而误判断产品不合格，有效提高装置对晶圆表面平整度的检测精度。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置的结构示意图；图2为本技术的除尘器装配结构示意图。图中：机体-1、电控箱-2、升降支架-3、检测探头-4、阻接座-5、传动带-6、除尘器-7、限位块-30、第一吸尘头-31、置物板-32、第二吸尘头-33、负压气管-34、转盘-35、轴承架-36、安装轴-37、导轨-8、工作台-9。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1-图2，本技术提供一种技术方案：一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括机体1、电控箱2、升降支架3、检测探头4、阻接座5、传动带6、除尘器7、导轨8、工作台9，所述机体1表面槽面一体构成工作台9，所述工作台9表面中部位置配设有传动带6，所述传动带6相穿接导轨8凹槽，所述工作台9上设有位置固定不变的电控箱2，所述电控箱2上部配设高度可调节的升降支架3，所述升降支架3凹槽卡接有垂式检测探头4，所述检测探头4间隔置于除尘器7表面上方处，所述除尘器7包括限位块30、第一吸尘头31、置物板32、第二吸尘头33、负压气管34、转盘35、轴承架36、安装轴37，所述限位块30分设在第一吸尘头31、第二吸尘头33底壁处，所述第一吸尘头31与第二吸尘头33外端相径接负压气管34，所述负压气管34排设在轴承架36外圈处，所述轴承架36组合转盘35连为一体，所述转盘35中点通过安装轴37卡接导轨8凹槽，所述置物板32外圈弧度活动吻合限位块30，且上腔带有相间隔的第一吸尘头31、第二吸尘头33，所述导轨8装配在工作台9表面局部位置上，所述电控箱2接线相连传动带6线盒，所述阻接座5叠设在工作台9靠后侧板面上，所述检测探头4设在对应导轨8上方间隔处，所述负压气管34装配多管道负压风箱使用，所述轴承架36转动方向与置物板32运动方向一致。本专利所说的转盘35作为置物板32、轴承架36的安装体，通电磁接后转动方向一致，通过安装轴37保持转动中点轴位置固定不变，具有固定环形轨迹的作用。例如：在进行使用时，晶圆片放在除尘器7表面置物板32上，第一吸尘头31与第二吸尘头33通过限位块30保持安装角度，转盘35作为置物板32、轴承架36的安装体，通电磁接后转动方向一致，通过安装轴37保持转动中点轴位置固定不变，具有固定环形轨迹的作用，置物板32顺着限位块30弧度活动吻合旋转，绕第一吸尘头31、第二吸尘头33下方空槽围转，通过负压气管34将晶圆片表面的灰尘等颗粒物质不断从第一吸尘头31、第二吸尘头33开口收集排出，使得检测探头4在扫描晶圆表面时能够不被假性瑕疵物质蒙蔽而误判断产品不合格，有效提高装置对晶圆表面平整度的检测精度。本技术解决的问题是在对晶圆加工时，生产车间中带有的灰尘等颗粒物质容易掉落在加工晶圆材料上，导致检测装置在扫描晶圆表面加工情况时的数据不准确，误将质量合格的晶圆判断为残质品，容易加重二次检修人员的作业量，本技术通过上述部件的互相组合，具有除尘功能，使得检测探头在扫描晶圆表面时能够不被假性瑕疵物质蒙蔽而误判断产品不合格，有效提高装置对晶圆表面平整度的检测精度。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括机体(1)、电控箱(2)、升降支架(3)、检测探头(4)、阻接座(5)、传动带(6)、除尘器(7)、导轨(8)、工作台(9)，其特征在于：/n所述机体(1)表面槽面一体构成工作台(9)，所述工作台(9)表面中部位置配设有传动带(6)，所述传动带(6)相穿接导轨(8)凹槽，所述工作台(9)上设有位置固定不变的电控箱(2)，所述电控箱(2)上部配设高度可调节的升降支架(3)，所述升降支架(3)凹槽卡接有垂式检测探头(4)，所述检测探头(4)间隔置于除尘器(7)表面上方处。/n

【技术特征摘要】
1.一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括机体(1)、电控箱(2)、升降支架(3)、检测探头(4)、阻接座(5)、传动带(6)、除尘器(7)、导轨(8)、工作台(9)，其特征在于：
所述机体(1)表面槽面一体构成工作台(9)，所述工作台(9)表面中部位置配设有传动带(6)，所述传动带(6)相穿接导轨(8)凹槽，所述工作台(9)上设有位置固定不变的电控箱(2)，所述电控箱(2)上部配设高度可调节的升降支架(3)，所述升降支架(3)凹槽卡接有垂式检测探头(4)，所述检测探头(4)间隔置于除尘器(7)表面上方处。


2.根据权利要求1所述的一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其特征在于：所述除尘器(7)包括限位块(30)、第一吸尘头(31)、置物板(32)、第二吸尘头(33)、负压气管(34)、转盘(35)、轴承架(36)、安装轴(37)，所述限位块(30)分设在第一吸尘头(31)、第二吸尘头(33)底壁处，所述第一吸尘头(31)与第二吸尘头...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘培芬，
申请(专利权)人：卢锦福，
类型：新型
国别省市：福建;35