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本实用新型公开了一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括机体、电控箱、升降支架、检测探头、阻接座、传动带、除尘器、导轨、工作台，本实用新型将晶圆片放在除尘器表面置物板上，第一吸尘头与第二吸尘头通过限位块保持安装角度，转盘通电...
该专利属于卢锦福所有，仅供学习研究参考，未经过卢锦福授权不得商用。

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