一种高精度全金属密封真空直线驱动器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆、波纹管和小轴，所述驱动杆的外表面套接有铜套，且铜套的左端面安装有卡簧一，所述波纹管安装于铜套的右端面，且波纹管的外表面设置有螺母管，所述波纹管的右端面焊接有波纹管座，且波纹管座的内部安装有卡簧二，所述卡簧二的右侧设置有轴承一，所述波纹管座的右端面安装有螺钉，所述小轴套接于轴承一的内侧，且小轴右端口的外表面套接有轴承二，所述轴承二的外表面安装有螺杆，且螺杆的外侧安装有。该真空直线驱动器的主要特点是采用高精度的全金属密封代替传统的橡胶密封圈动态密封，可以使得该装置可以使用在高温和低温的环境下，具有较强的适用能力和使用的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度全金属密封真空直线驱动器
本技术涉及物理气相沉积
，具体为一种高精度全金属密封真空直线驱动器。
技术介绍
真空直线驱动器就是一种应用广泛的真空功能装置，其功能是将真空腔室外部的受力驱动传递到真空腔室内部。传统的真空旋转导入装置多是采用橡胶密封圈动密封的设计方式。动密封中使用橡胶密封圈，是靠给定的拉伸和压缩变形来保证密封性能的，为了减少摩擦阻力，通常压缩量比固定密封小。目前，橡胶圈的材质和使用特型给此类装置带来不可避免的问题，一是使用环境温度有限，高温环境会熔化，低温环境会硬化，二是使用寿命短，频繁摩擦极易磨损，三是运动阻力大，橡胶密封圈的形变挤压带来很大的摩擦阻力，四是驱动调节无法直观知道真空腔体内部驱动杆的伸缩距离，为此，我们提出一种高精度全金属密封真空直线驱动器。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高精度全金属密封真空直线驱动器，以解决上述
技术介绍
中提到的橡胶圈的材质和使用特型给此类装置带来不可避免的问题，一是使用环境温度有限，高温环境会熔化，低温环境会硬化，二是使用寿命短，频繁摩擦极易磨损，三是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆(1)、波纹管(4)和小轴(12)，其特征在于：所述驱动杆(1)的外表面套接有铜套(3)，且铜套(3)的左端面安装有卡簧一(16)，所述波纹管(4)安装于铜套(3)的右端面，且波纹管(4)的外表面设置有螺母管(5)，所述波纹管(4)的右端面焊接有波纹管座(15)，且波纹管座(15)的内部安装有卡簧二(6)，所述卡簧二(6)的右侧设置有轴承一(7)，所述波纹管座(15)的右端面安装有螺钉(14)，所述小轴(12)套接于轴承一(7)的内侧，且小轴(12)右端口的外表面套接有轴承二(11)，所述轴承二(11)的外表面安装有螺杆(10)，且螺杆(10)...

【技术特征摘要】
1.一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆(1)、波纹管(4)和小轴(12)，其特征在于：所述驱动杆(1)的外表面套接有铜套(3)，且铜套(3)的左端面安装有卡簧一(16)，所述波纹管(4)安装于铜套(3)的右端面，且波纹管(4)的外表面设置有螺母管(5)，所述波纹管(4)的右端面焊接有波纹管座(15)，且波纹管座(15)的内部安装有卡簧二(6)，所述卡簧二(6)的右侧设置有轴承一(7)，所述波纹管座(15)的右端面安装有螺钉(14)，所述小轴(12)套接于轴承一(7)的内侧，且小轴(12)右端口的外表面套接有轴承二(11)，所述轴承二(11)的外表面安装有螺杆(10)，且螺杆(10)的外侧安装有手柄(9)，所述螺杆(10)的右端面贯穿有螺丝(13)。


2.根据权利要求1所述的一种高精度全金属密封真空直线驱动器，其特征在于：所述螺母管(5)的左端面固定有法兰(2)，且波纹管(4)与驱动杆(1)之间的连接方式为焊接连接，所述法兰(2)的右端面与波纹管(4)之间的连接方式为焊接...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆伟华，邵玮，
申请(专利权)人：南通纳瑞纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32