【技术实现步骤摘要】
物理气相环境下球体表面均匀涂层的制备装置及方法
本专利技术涉及球体表面涂层的制备
，具体涉及一种物理气相环境下球体表面均匀涂层的制备方法。
技术介绍
钢球、陶瓷球和玻璃球等不同材质球体被广泛应用于汽车配件、航空、航天和化工设备等领域。一般情况下，为了满足使用寿命、环境以及表面性能等方面的要求，通常需要对球体表面进行涂层处理。目前，球体涂层的制备方法主要有电镀法、喷涂法、化学气相沉积法和物理气相沉积法等。其中，与其它方法相比，物理气相沉积法具有沉积速度快、涂层致密度高、安全可靠性好以及成分可控等优点。然而，采用物理气相沉积法制备球体表面涂层也具有一些局限性，一方面，此方法中的沉积源的沉积方向通常为单向，此特点使得三维曲面结构的球体很难实现完整表面的涂层厚度均匀性；另一方面，此方法的沉积对象通常处于静止放置状态或者夹持状态，这容易引起球体的接触表面产生涂层缺陷，即有些局部位置不能实现涂层，从而导致球体表面涂层的不完整。本专利技术针对物理气相环境下制备的球体表面涂层的不均匀性问题，设计了一种振动样品台，并提出了物理气...
【技术保护点】
1.一种振动样品台，其特征在于，包括电磁震荡器和样品台两部分，所述样品台位于电磁震荡器上方，所述电磁震荡器设有线圈，所述线圈位于电磁场中，所述样品台与线圈固定相接；样品台在电磁震荡器的驱动下发生振动，形成振动波，由于这种振动波在表面的传播和干涉导致样品台表面各个位置的运动状态存在相位差，运动的方向和振幅均有差异；所述样品台表面为良好弹性材质，使得球体与“样品台”表面发生碰撞后被反复弹起，实现了球体在空中旋转，其旋转方向和速度随着碰撞点位置的变化而变化。/n
【技术特征摘要】
1.一种振动样品台，其特征在于，包括电磁震荡器和样品台两部分，所述样品台位于电磁震荡器上方，所述电磁震荡器设有线圈，所述线圈位于电磁场中，所述样品台与线圈固定相接；样品台在电磁震荡器的驱动下发生振动，形成振动波，由于这种振动波在表面的传播和干涉导致样品台表面各个位置的运动状态存在相位差，运动的方向和振幅均有差异；所述样品台表面为良好弹性材质，使得球体与“样品台”表面发生碰撞后被反复弹起，实现了球体在空中旋转，其旋转方向和速度随着碰撞点位置的变化而变化。
2.根据权利要求1所述的振动样品台，其特征在于，所述样品台表面材质为聚碳酸酯。
3.物理气相环境下球体表面均匀涂层的制备装置，其特征在于，包括物理气相沉积装置，在物理气相沉积装置的腔内下部设有振动样品台，沉积源与振动样品台之间的最小距离使球体振动时不能接触到沉积源。
4.根据权利要求3所述的物理气相环境下球体表面均匀涂层...
【专利技术属性】
技术研发人员：王君，孙中贵，赵毅，何强，张稚雅，
申请(专利权)人：兰州大学，
类型：发明
国别省市：甘肃;62
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