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本发明公开了物理气相环境下球体表面均匀涂层的制备装置及方法，所述装置包括物理气相沉积装置，在物理气相沉积装置的腔内下部设有振动样品台，主要由电磁震荡器和样品台两部分组成，样品台按照一定频率和振幅振动，实现球体在样品台上以一定的频率和速度的跳...
该专利属于兰州大学所有，仅供学习研究参考，未经过兰州大学授权不得商用。

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