反射膜及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及反射膜及其制备方法和应用，其中反射膜的制备方法，包括以下步骤：提供基板；采用氩离子对基板进行预处理；在氩氮混合气的氛围下，在经预处理的基板上镀银，形成第一银反射层；其中，氩氮混合气中，氮气的体积百分含量为15%~60%。上述制备方法能够保证反射膜的耐老化性能的同时具有较高反射率。

【技术实现步骤摘要】
反射膜及其制备方法和应用
本专利技术涉及材料
，特别涉及反射膜及其制备方法和应用。
技术介绍
目前所使用的反射膜主要是基于金属反射层的反射膜，诸如金膜、铜膜、铑膜和铝膜等，但金膜、铜膜、铑膜在紫外、可见波段的反射率都较低，虽然铝膜的反射区间覆盖了紫外、可见和红外波段并且都具有较高的反射率，但铝膜在0.86μm处有一个明显的吸收峰，降低了整个太阳光谱的反射效率。银膜从可见到红外波段具有最高的反射效率，但是银膜的耐老化性能较低，会迅速与环境中的水、氧气、卤化物以及硫化物等发生反应，造成反射率降低，进而影响膜的使用效果。为了提高银膜的耐老化性能，目前有众多厂商在银膜两侧溅镀一层或多层氧化物（如SiO2、Ta2O5）、氮化物（如NiCrNx、SiNx）等介质保护膜。该结构的反射膜虽然可以在一定程度上提升银膜的耐老化性能，但该结构的反射膜很容易出现银层与介质膜之间，以及多层介质膜之间匹配不佳而导致的层间剥离现象，进而造成反射膜使用寿命缩短的问题，且由于膜层增加太阳光反射率大幅下降，导致反射膜的反射率无法满足精密元件的需求。此外，多层膜的层叠本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反射膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n提供基板；/n采用氩离子对所述基板进行预处理；/n在氩氮混合气的氛围下，在经所述预处理的基板上镀银，形成第一银反射层；/n其中，所述氩氮混合气中，氮气的体积百分含量为15%~60%。/n

【技术特征摘要】
1.一种反射膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供基板；
采用氩离子对所述基板进行预处理；
在氩氮混合气的氛围下，在经所述预处理的基板上镀银，形成第一银反射层；
其中，所述氩氮混合气中，氮气的体积百分含量为15%~60%。


2.根据权利要求1所述的反射膜的制备方法，其特征在于，所述镀银的步骤采用磁控溅镀工艺进行。


3.根据权利要求1所述的反射膜的制备方法，其特征在于，所述反射膜由基板和第一银反射层组成，在形成所述第一银反射层的步骤中，氮气的流量为15sccm~40sccm，氩气的流量为60sccm~85sccm。


4.根据权利要求1所述的反射膜的制备方法，其特征在于，形成所述第一银反射层的步骤后还包括以下步骤：
在氩气的氛围下，在所述第一银反射层上镀银，形成第二银反射层。


5.根据权利要求4所述的反射膜的制备方法，其特征在于，所述第一银反射层和所述第二银反射层的厚度比为1:(2~6.5)。


6.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨荣贵，王明辉，赵锦玲，
申请(专利权)人：宁波瑞凌新能源科技有限公司，宁波瑞凌新能源材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33