软磁性金属粉末和磁性部件制造技术

本发明专利技术提供具有良好的软磁特性即低的矫顽力Hcj和高的饱和磁通密度Bs，且粉末电阻率高，绝缘性高的软磁性金属粉末。软磁性金属粉末含有Fe。软磁性金属粉末具有由软磁性金属部和覆盖软磁性金属部的包覆部构成的颗粒。包覆部具有第一包覆部和第二包覆部。第一包覆部比第二包覆部更接近软磁性金属部。第一包覆部和第二包覆部具有含有选自Si、Fe、B中的至少一种的氧化物作为主要成分。第一包覆部含有非晶质，第二包覆部含有晶体，第二包覆部与第一包覆部相比，晶体的含有比例高。

【技术实现步骤摘要】
软磁性金属粉末和磁性部件
本专利技术涉及软磁性金属粉末和磁性部件。
技术介绍
专利文献1记载了Fe－B－M系的软磁性非晶质合金。该软磁性非晶质合金具有与Fe基非晶体合金相比具有高的饱和磁通密度等、良好的软磁特性。专利文献2记载了具有配置于磁性金属颗粒的表面且含有Si和O第一绝缘层以及配置于第一绝缘层上且含有P的第二绝缘层。具有该磁性金属颗粒的磁性粉末具有高的绝缘性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3342767号公报专利文献2：日本特开2017－34228号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题目前正在寻求具有良好的软磁特性、即低的矫顽力Hcj和高的饱和磁通密度Bs，且粉末电阻率高，绝缘性高的软磁性金属粉末。本专利技术是鉴于这样的现状而完成的专利技术，其目的在于：提供具有良好的软磁特性且粉末电阻率高的软磁性金属粉末。用于解决技术问题的技术方案为了实现上述目的，本专利技术的软磁性金属粉末是含有Fe的软磁性金属粉末，其特征在于：上述软磁性金属粉末具有由软磁性金属部和覆盖上述软磁性金属部的包覆部构成的颗粒，上述包覆部具有第一包覆部和第二包覆部，上述第一包覆部比上述第二包覆部更接近上述软磁性金属部，上述第一包覆部和上述第二包覆部具有含有选自Si、Fe、B中的至少一种的氧化物作为主要成分，上述第一包覆部含有非晶质，上述第二包覆部含有晶体，上述第二包覆部与上述第一包覆部相比，晶体的含有比例高。本专利技术的软磁性金属粉末通过具有上述的特征，具有良好的软磁特性，且粉末电阻率提高。上述软磁性金属粉末可以含有B，在将上述软磁性金属部中的B的浓度的平均值设为BA，将上述第一包覆部和上述第二包覆部中的B的浓度的平均值设为BB时，可以满足0.5≤BB/BA≤10。上述软磁性金属部可以含有非晶质。上述软磁性金属部可以含有纳米晶体。在将上述第一包覆部的厚度的平均值设为D1，将上述第二包覆部的厚度的平均值设为D2时，可以满足0.2≤D2/D1≤8.0。上述软磁性金属粉末可以含有Si，在将上述软磁性金属部中的Si的浓度的平均值设为SiA，将上述第一包覆部和上述第二包覆部中的Si的浓度的平均值设为SiB时，可以满足0.5≤SiB/SiA≤50。上述包覆部可以在上述第二包覆部的外侧具有第三包覆部。本专利技术的磁性部件含有上述的软磁性金属粉末。附图说明图1是颗粒的表面附近的截面示意图。图2是通过X射线晶体结构分析而得到的图表的一例。图3是通过对图2的图表进行曲线拟合而得到的图案的一例。图4是金属粉末制造装置的示意图。图5A是热处理前的颗粒的透射式电子显微镜(TransmissionElectronMicroscopy：TEM)图像。图5B是热处理前的颗粒的环形暗场扫描透射电子显微镜(HighAngleAnnulerDarkFieldScanningTransmissionElectronMicroscopy：HAADF－STEM)图像。图5C是热处理前的颗粒的O映射图像。图5D是热处理前的颗粒的Si映射图像。图5E是热处理前的颗粒的Fe映射图像。图5F是热处理前的颗粒的B映射图像。图6A是热处理后的颗粒的TEM图像。图6B是热处理后的颗粒的HAADF－STEM图像。图6C是热处理后的颗粒的O映射图像。图6D是热处理后的颗粒的Si映射图像。图6E是热处理后的颗粒的Fe映射图像。图6F是热处理后的颗粒的B映射图像。符号说明1…颗粒11…软磁性金属部13…包覆部13a…第一包覆部13b…第二包覆部15…树脂20…熔融金属供给部21…熔融金属22…容器24…加热用线圈26…气体喷嘴30…冷却部32…筒体33…内表面(内周面)34…排出部36…冷却液导入部(冷却液导出部)37…喷嘴38…框体40…分隔部42…通路部44…外侧部(外侧空间部)46…内侧部(内侧空间部)50…冷却液流52…冷却液排出部100…金属粉末制造装置具体实施方式下面，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。(颗粒1的结构)本实施方式的软磁性金属粉末具有表面附近为图1所示的结构的颗粒1。即，本实施方式的软磁性金属粉末具有由软磁性金属部11和覆盖软磁性金属部11的包覆部13构成的颗粒1。进而，包覆部13具有第一包覆部13a和第二包覆部13b，第一包覆部13a比第二包覆部13b更接近软磁性金属部11。作为确认包覆部13具有第一包覆部13a和第二包覆部13b的方法，没有特别限制。例如，如后所述，有使用TEM和电子能量损失谱法(ElectronEnergyLossSpectroscopy：EELS)进行确认的方法。本实施方式的软磁性金属粉末中的颗粒1的平均粒径没有特别限制。例如可以为0.1μm以上100μm以下。另外，第一包覆部13a的厚度的平均值D1可以为0.5nm以上20nm以下，第二包覆部13b的厚度的平均值D2可以为0.5nm以上20nm以下。可以满足0.2≤D2/D1≤8.0，还可以满足0.4≤D2/D1≤6.0。通过D2/D1为上述的范围内，存在能够兼顾耐电压特性和磁导率的倾向。此外，D1、D2的计算方法没有特别限制。例如可以通过如下方法来计算，即，使用TEM、TEM图像的快速傅立叶变换处理(FastFourierTransform：FFT)、EELS等，确定第一包覆部13a和第二包覆部13b的范围，对第一包覆部13a和第二包覆部13b分别在至少50处测定厚度，并进行平均，由此进行计算。第一包覆部13a和第二包覆部13b具有选自Si、Fe、B中的至少一种的氧化物作为主要成分。具体地说，上述氧化物相对于第一包覆部13a整体的含量为70质量％以上，上述氧化物相对于第二包覆部13b整体的含量为70质量％以上。包覆部13可以不包覆软磁性金属部11的整个表面，只要包覆软磁性金属部11的整个表面的60％以上即可。进而，包覆部13可以在第二包覆部13b的外侧具有第三包覆部(未图示)。第三包覆部的厚度没有特别限制。例如可以将第三包覆部的厚度的平均值D3设为5nm以上100nm以下。第三包覆部的材质没有特别限制。例如可以使用本
中通常使用的绝缘涂敷剂。具体地说，第三包覆部可以为SiO2玻璃覆膜、磷酸盐玻璃覆膜。进而，第三包覆部可以具有由相互不同的种类的材质构成的2层以上的层。通过颗粒1具有第三包覆部，具有颗粒1的软磁性金属粉末的粉末电阻率变高。本实施方式的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种软磁性金属粉末，其含有Fe，该软磁性金属粉末的特征在于：/n所述软磁性金属粉末具有由软磁性金属部和覆盖所述软磁性金属部的包覆部构成的颗粒，/n所述包覆部具有第一包覆部和第二包覆部，/n所述第一包覆部比所述第二包覆部更接近所述软磁性金属部，/n所述第一包覆部和所述第二包覆部具有含有选自Si、Fe、B中的至少一种的氧化物作为主要成分，/n所述第一包覆部含有非晶质，所述第二包覆部含有晶体，/n所述第二包覆部与所述第一包覆部相比，晶体的含有比例高。/n

【技术特征摘要】
20190328 JP 2019-064223;20200213 JP 2020-0226001.一种软磁性金属粉末，其含有Fe，该软磁性金属粉末的特征在于：
所述软磁性金属粉末具有由软磁性金属部和覆盖所述软磁性金属部的包覆部构成的颗粒，
所述包覆部具有第一包覆部和第二包覆部，
所述第一包覆部比所述第二包覆部更接近所述软磁性金属部，
所述第一包覆部和所述第二包覆部具有含有选自Si、Fe、B中的至少一种的氧化物作为主要成分，
所述第一包覆部含有非晶质，所述第二包覆部含有晶体，
所述第二包覆部与所述第一包覆部相比，晶体的含有比例高。


2.如权利要求1所述的软磁性金属粉末，其特征在于：
所述软磁性金属粉末含有B，
在将所述软磁性金属部中的B的浓度的平均值设为BA，将所述第一包覆部和所述第二包覆部中的B的浓度的平均值设为BB时，
满足0.5≤BB/BA≤10。

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【专利技术属性】
技术研发人员：森智子，吉留和宏，松元裕之，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP