原子力显微镜制造技术

一种设备，包括样本台、悬臂架、悬臂力检测器、悬臂反馈系统以及样本台反馈系统。样本台配置成保持样本。悬臂架配置成机械固定带有扫描尖的机械悬臂。悬臂力检测器配置成产生悬臂力电误差信号。悬臂反馈系统配置成响应于该悬臂力误差信号驱动该机械悬臂。样本台反馈系统配置成响应于该悬臂力误差信号机电移动该样本台。该悬臂反馈系统和该样本台反馈系统连接成并联地接收悬臂力误差信号。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种设备，包括：　　　　用于支持样本的样本台；　　　　机械地固定带有扫描尖的机械悬臂的悬臂架；　　　　产生电子悬臂力误差信号的悬臂力检测器；　　　　悬臂反馈系统，其被配置成按响应于该悬臂力误差信号的方式机电地驱动该机械悬臂；以及　　　　样本台反馈系统，其被配置成按响应于该悬臂力误差信号的方式机电地移动该样本台，该悬臂反馈系统和该样本台反馈系统连接成并联地接收该悬臂力误差信号。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吉尔施布鲁姆博格，卡尔J斯故克尔曼，
申请(专利权)人：朗迅科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]