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原子力显微镜制造技术
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文档序号:2587801
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一种设备,包括样本台、悬臂架、悬臂力检测器、悬臂反馈系统以及样本台反馈系统。样本台配置成保持样本。悬臂架配置成机械固定带有扫描尖的机械悬臂。悬臂力检测器配置成产生悬臂力电误差信号。悬臂反馈系统配置成响应于该悬臂力误差信号驱动该机械悬臂。样本...
该专利属于朗迅科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗迅科技公司授权不得商用。
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