干涉仪中的光束引导制造技术

本发明专利技术涉及一种用于确定干涉仪臂(2)中的光程长度变化，尤其是相对光程长度变化的参考干涉仪(1)，其包括分束器(3)和激光光源(4)，该分束器(3)被实施为使得激光光源(4)的光束(5)通过在分束器(3)的第一侧面、特别是上侧(61)和第二侧面、特别是下侧(62)上的全内反射来引导，其特征在于，在光路中在分束器(3)的上游设置棱镜(16')，从而能够通过所述棱镜偏转进入分束器(1)的光束(5)，和/或其特征在于，在光路中在分束器(3)的下游设置棱镜(16”)，从而能够通过所述棱镜偏转离开分束器(3)的光束(5')。此外，本发明专利技术涉及基于根据本发明专利技术的参考干涉仪的干涉仪、光谱仪和用于确定光程长度变化的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干涉仪中的光束引导
本专利技术涉及一种用于确定干涉仪臂中的光程长度变化、特别是相对光程长度变化的参考干涉仪，其包括分束器和激光光源。此外，本专利技术涉及这种参考干涉仪的用途。此外，本专利技术涉及一种具有这种参考干涉仪的干涉仪，并且涉及一种具有这种干涉仪的光谱仪，尤其是近红外光谱仪。此外，本专利技术涉及一种用于确定干涉仪臂中的光程长度变化、特别是相对光程长度变化的方法，其中，将激光光源的光束，特别是参考光束辐射在分束器上。
技术介绍
通常，例如在傅立叶变换光谱仪中使用的两个光束干涉仪需要参考干涉仪，以用于测量干涉仪臂中两个光束之间的光程长度差。US2011/0043819公开了一种基于激光束干涉的激光量块干涉仪(gaugeinterferometer)。量块干涉仪生成测量结果，该测量结果再现可移动元件的位移；以及校正干涉仪生成测量结果，该测量结果指定了在恒定参考间隔内空气折射率的变化。基于此，计算机单元计算可移动元件的位移的目标值，以便补偿折射率的变化。通常使用所谓的正交检测来测量相对光程长度变化，以能够捕本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于确定干涉仪臂(2)中的光程长度变化、特别是相对光程长度变化的参考干涉仪(1)，其包括分束器(3)和激光光源(4)，所述分束器(3)被实施为使得所述激光光源(4)的光束(5)通过在所述分束器(3)的第一侧面、特别是上侧(61)和第二侧面、特别是下侧(62)上的全内反射来引导，/n其特征在于，在光路中在所述分束器(3)的上游设置至少一个棱镜(16')，从而能够通过所述至少一个棱镜偏转进入所述分束器(1)的光束(5)；和/或/n其特征在于，在所述光路中在所述分束器(3)的下游设置至少一个棱镜(16”)，从而能够通过所述至少一个棱镜偏转离开所述分束器(3)的光束(5')。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180227 EP 18158804.71.一种用于确定干涉仪臂(2)中的光程长度变化、特别是相对光程长度变化的参考干涉仪(1)，其包括分束器(3)和激光光源(4)，所述分束器(3)被实施为使得所述激光光源(4)的光束(5)通过在所述分束器(3)的第一侧面、特别是上侧(61)和第二侧面、特别是下侧(62)上的全内反射来引导，
其特征在于，在光路中在所述分束器(3)的上游设置至少一个棱镜(16')，从而能够通过所述至少一个棱镜偏转进入所述分束器(1)的光束(5)；和/或
其特征在于，在所述光路中在所述分束器(3)的下游设置至少一个棱镜(16”)，从而能够通过所述至少一个棱镜偏转离开所述分束器(3)的光束(5')。


2.根据权利要求1所述的参考干涉仪(1)，特别是迈克尔逊型参考干涉仪，其中，所述至少一个棱镜(16')被实施为使得基本上沿着中心z轴或平行于所述中心z轴通向所述分束器的光束(5)能够被折射并倾斜地引导至所述分束器(3)的第一侧面，特别是上侧(61)；特别优选的是能够将所述光束转向所述分束器的第一侧面、特别是分束器(3)的上侧(61)的直角三棱镜。


3.根据权利要求1所述的参考干涉仪(1)，特别是迈克尔逊型参考干涉仪，其中，所述至少一个棱镜(16”)被实施为使得相对于中心x轴倾斜地离开所述分束器的光束(5')能够被折射并基本上沿着所述中心x轴或平行于所述中心x轴的路线被引导；特别优选的是能够折射从所述分束器的第二侧面、特别是下侧(62)入射的光束的直角三棱镜。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)的至少所述第一侧面和/或所述第二侧面、特别是上侧(61)和/或下侧(62)设置有涂层，特别是在其一部分上。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述涂层的折射率和厚度被选择为使得在所述激光光源(4)的光束(5)已经通过全内反射而反射的情况下经受全内反射的s-偏振光束和p-偏振光束之间能够获得π/2±π/10、优选地π/2±π/20的相移。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)被实施为平行六面体，特别是被实施为直角矩形棱镜，优选地被实施为长方体。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，提供至少一个检测器(7)，优选地，提供用于检测已经被偏振分束器(13)分离的两个部分光束的两个光电检测器(7'，7”)。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述激光光源(4)是二极管激光器，特别是分布式反馈激光器、分布式布拉格反射激光器或垂直腔面发射激光器。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的参考干涉仪(1)用于监视干涉仪臂(2)中的光程长度变化的用途。


10.一种干涉仪(8)，包括用于监视干涉仪臂(2)中的光程长度变化的根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·吉斯勒，
申请(专利权)人：瑞士万通集团公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH