适用于双频激光干涉测量的光隔离装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种适用于双频激光干涉测量的光隔离装置及方法，包括：第一偏振分光镜、第一单向通过光路、第二偏振分光镜和第二单向通过光路；光束经过第一偏振分光镜分束为S光和P光；S光经过第一单向通过光路后进入第二偏振分光镜；P光经过第二单向通过光路后进入第二偏振分光镜；第二偏振分光镜对进入的光进行合束输出。本发明专利技术通过通过构建了单向传输路径，保证了双频激光光束的偏振特性不变，同时具备光隔离效果好、激光能量损失少、机理明确、工程实践效果好、应用范围广泛等优点。

【技术实现步骤摘要】
适用于双频激光干涉测量的光隔离装置及方法
本专利技术涉及激光干涉测量领域，具体地，涉及一种适用于双频激光干涉测量的光隔离装置及方法。
技术介绍
随着光学测量技术的快速发展，激光干涉测量技术得到了飞速发展，传统的单频激光干涉测量受制于其光强信号及光电传感器件输出的都是直流量，直流的漂移问题一直是影响其测量量准确度的重要原因，此外，信号处理以及后续的细分都较为困难。随着上世纪70年代电通信领域的外差技术被引入光学干涉测量领域，产生了激光外差测量技术，光外差干涉技术通过两路相干光束的光波频率产生一个小的频率差，在干涉场产生干涉条纹，再经过光电传感器转换为电信号，最后由后端的处理电路和计算机计算出相位差。克服了单频的漂移问题，使细分变得容易，并显著提高了抗干扰性能。应用此项技术，美国HP公司率先研制出双频激光干涉仪并获专利，双频激光干涉测量是一种精密，多功能的测量方法，可以测量多种几何量，如位移、角度、垂直度、平行度及直线度、平面度等，常被用于装配、制造、非接触测量及转台系统等精密计量方面的研究和开发。激光干涉测量光学系统是激光干涉测量系统的重本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于双频激光干涉测量的光隔离装置，其特征在于，包括：第一偏振分光镜(3)、第一单向通过光路、第二偏振分光镜(6)和第二单向通过光路；/n光束经过所述第一偏振分光镜(3)分束为S光和P光；/n所述S光经过所述第一单向通过光路后进入所述第二偏振分光镜(6)；/n所述P光经过所述第二单向通过光路后进入所述第二偏振分光镜(6)；/n所述第二偏振分光镜(6)对进入的光进行合束输出。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于双频激光干涉测量的光隔离装置，其特征在于，包括：第一偏振分光镜(3)、第一单向通过光路、第二偏振分光镜(6)和第二单向通过光路；
光束经过所述第一偏振分光镜(3)分束为S光和P光；
所述S光经过所述第一单向通过光路后进入所述第二偏振分光镜(6)；
所述P光经过所述第二单向通过光路后进入所述第二偏振分光镜(6)；
所述第二偏振分光镜(6)对进入的光进行合束输出。


2.根据权利要求1所述的适用于双频激光干涉测量的光隔离装置，其特征在于，所述第一单向通过光路包括：前端的第一法拉第光隔离器(4)和后端的第一波片(5)，所述第二单向通过光路包括：前端的第二法拉第光隔离器(8)和后端的第二波片(9)。


3.根据权利要求1所述的适用于双频激光干涉测量的光隔离装置，其特征在于，所述第一偏振分光镜(3)分束出的所述S光直接进入所述第一单向通过光路，所述第一偏振分光镜(3)分束出的所述P光通过第一全反射棱镜(7)进入所述第二单向通过光路后，通过第二全反射棱镜(10)进入所述第二偏振分光镜(6)。


4.根据权利要求1所述的适用于双频激光干涉测量的光隔离装置，其特征在于，还包括缩束系统(2)，设置于所述光源(1)与所述第一偏振分光镜(3)之间，对所述光源(1)射出的光束进行缩束。


5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈涛，李艳红，朱炜，陈强华，刘斌超，赵吕懿，张琰，柴娟芳，杨扬，周麟，
申请(专利权)人：上海机电工程研究所，北京理工大学，北方工业大学，
类型：发明
国别省市：上海;31