下载干涉仪中的光束引导的技术资料

文档序号:25845231

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本发明涉及一种用于确定干涉仪臂(2)中的光程长度变化,尤其是相对光程长度变化的参考干涉仪(1),其包括分束器(3)和激光光源(4),该分束器(3)被实施为使得激光光源(4)的光束(5)通过在分束器(3)的第一侧面、特别是上侧(61)和第二侧...
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