专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
瑞士万通集团公司
>
干涉仪中的光束引导制造技术
>技术资料下载
下载干涉仪中的光束引导的技术资料
文档序号:25845231
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种用于确定干涉仪臂(2)中的光程长度变化,尤其是相对光程长度变化的参考干涉仪(1),其包括分束器(3)和激光光源(4),该分束器(3)被实施为使得激光光源(4)的光束(5)通过在分束器(3)的第一侧面、特别是上侧(61)和第二侧...
该专利属于瑞士万通集团公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞士万通集团公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。