共振结构湿度传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种湿度传感器，它包括共振结构和用于响应于湿度改变而使共振结构的共振频率变化的结构。根据本发明专利技术的湿度传感器结构可以以较小的形状要素形成，非常适用于远程应用，并提供了用于对温度漂移进行补偿的机构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及共振结构湿度传感器。
技术介绍
湿度传感器可以广泛用于多种应用中。湿度传感器的示例性应用包括加热调节系统和空调系统。另外，湿度传感器还可以用于处理控制系统、气象站、农业环境等。湿度传感器可以包括对湿度敏感的电容器，所述电容器的电容响应于湿度改变而改变。例如，对湿度敏感的电容可以包括夹在两个金属板之间的透水性电介质材料。金属板可以有孔，孔使得水可以到达电介质材料。湿度增加可以使电介质材料吸收水。电介质材料吸收的水使电介质材料的介电常数增大，这使电容器的电容增大。但是，使用对湿度敏感的电容器的湿度传感器可能不适用于许多应用场合。例如，对于许多应用而言，对湿度敏感的电容及相关电路可能太庞大。另外，现有的湿度传感器可能受到温度漂移的影响。
技术实现思路
本专利技术公开了一种湿度传感器，它包括共振结构和变化结构，所述变化结构用于响应于湿度改变而使共振结构的共振频率变化。根据本专利技术的湿度传感器结构可以以较小的形状要素(form factor)形成，非常适用于远程应用，并提供了用于对温度漂移进行补偿的机构。根据下面的详细说明将使本专利技术的其他特征和优点更加清楚。附图说明本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿度传感器，包括：　　　　共振结构；　　　　变化结构，用于响应于湿度改变而使所述共振结构的共振频率变化。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：威廉R小托特纳，理查德C鲁比，斯托尔斯T霍恩，安妮特C格罗特，马克A安奎茨，格雷厄姆弗劳尔，约翰斯蒂夫考弗尔，
申请(专利权)人：安华高科技杰纳勒尔IP新加坡私人有限公司，
类型：发明
国别省市：SG[新加坡]