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本发明公开了一种湿度传感器,它包括共振结构和用于响应于湿度改变而使共振结构的共振频率变化的结构。根据本发明的湿度传感器结构可以以较小的形状要素形成,非常适用于远程应用,并提供了用于对温度漂移进行补偿的机构。...该专利属于安华高科技杰纳勒尔IP(新加坡)私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安华高科技杰纳勒尔IP(新加坡)私人有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种湿度传感器,它包括共振结构和用于响应于湿度改变而使共振结构的共振频率变化的结构。根据本发明的湿度传感器结构可以以较小的形状要素形成,非常适用于远程应用,并提供了用于对温度漂移进行补偿的机构。...