功率器件的敏感区域检测方法、计算机设备及存储介质技术

本申请涉及一种功率器件的敏感区域检测方法、计算机设备及存储介质。功率器件的敏感区域检测方法，用于检测功率器件的单粒子烧毁敏感区域，包括：获取功率器件的器件信息；根据器件信息构建仿真模型；将仿真模型中的功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域；基于仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的仿真区域的过程根据仿真模拟结果判断各仿真区域是否发生单粒子烧毁；如果仿真区域发生单粒子烧毁，则确定该仿真区域为敏感区域。本申请可以有效降低敏感区域的检测成本。

【技术实现步骤摘要】
功率器件的敏感区域检测方法、计算机设备及存储介质
本申请涉及电子
，特别是涉及一种功率器件的敏感区域检测方法、计算机设备及存储介质。
技术介绍
早在上世纪八十年代，航天应用领域就开始关注辐射粒子导致的功率器件单粒子烧毁(SEB)失效。当带电粒子(如重离子)入射到功率器件的敏感区域时，电离产生电子-空穴对。电子-空穴对在电场作用下分离并向相反方向运动，导致电子向高电位处聚集，而空穴向低电位处聚集，进而诱发功率器件发生单粒子烧毁。传统技术通常通过辐照试验确定功率器件的单粒子烧毁敏感区域，导致敏感区域难以精确的确定。但是，辐射粒子引起失效的单粒子效应为破坏性效应。因此，传统方法需要耗用大量的样品才能获得具有统计性的结果，测试成本较高。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够降低试验成本的功率器件的敏感区域检测方法、计算机设备及存储介质。一种功率器件的敏感区域检测方法，用于检测功率器件的单粒子烧毁敏感区域，包括：获取所述功率器件的器件信息；根据所述器件信息构建仿真模型；将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域；基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的所述仿真区域的过程；根据仿真模拟结果判断各所述仿真区域是否发生单粒子烧毁；如果所述仿真区域发生单粒子烧毁，则确定该仿真区域为敏感区域。在其中一个实施例中，所述将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域包括：将所述功率器件的长度方向作为第一方向；将所述功率器件的仿真结构沿第一方向分进行划分而生成所述多个仿真区域。在其中一个实施例中，所述将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域包括：将所述功率器件的长度方向作为第一方向，所述功率器件的厚度方向作为第二方向；将所述功率器件的仿真结构沿第一方向以及第二方向进行划分而生成所述多个仿真区域。在其中一个实施例中，所述多个仿真区域为2n个相同的仿真区域，n为大于1的正整数，且2n个所述仿真区域关于中心平面对称分布，所述中心平面与所述第一方向垂直；所述基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的所述仿真区域的过程包括：设置所述功率器件处于关态，且其偏置电压为在预设偏置电压；基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至位于所述功率器件的中心平面一侧的n个仿真区域的过程。在其中一个实施例中，所述基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的各仿真区域的过程之前还包括：获取单粒子烧毁阈值电压与带电粒子的线性能量转移值之间的关系曲线；根据所述关系曲线，选取所述预设偏置电压以及与其相对应的线性能量转移值；根据与所述预设偏置电压相对应的线性能量转移值，选取所述试验带电粒子。在其中一个实施例中，所述功率器件为金属-氧化层-半导体场效应晶体管，所述根据仿真模拟结果判断各所述仿真区域是否发生单粒子烧毁包括：根据所述功率器件的漏端电流判断各所述仿真区域是否发生单粒子烧毁。在其中一个实施例中，所述仿真模型为三维工艺计算机辅助设计仿真模型。在其中一个实施例中，所述带电粒子为重离子。一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下方法步骤：获取所述功率器件的器件信息；根据所述器件信息构建仿真模型；将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域；基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的所述仿真区域的过程；根据仿真模拟结果判断各所述仿真区域是否发生单粒子烧毁；如果所述仿真区域发生单粒子烧毁，则确定该仿真区域为敏感区域。一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现一下方法步骤：获取所述功率器件的器件信息；根据所述器件信息构建仿真模型；将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域；基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的所述仿真区域的过程；根据仿真模拟结果判断各所述仿真区域是否发生单粒子烧毁；如果所述仿真区域发生单粒子烧毁，则确定该仿真区域为敏感区域。上述功率器件的敏感区域检测方法，用于检测功率器件的单粒子烧毁敏感区域，包括：获取功率器件的器件信息；根据器件信息构建仿真模型；将仿真模型中的功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域；基于仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的仿真区域的过程根据仿真模拟结果判断各仿真区域是否发生单粒子烧毁；如果仿真区域发生单粒子烧毁，则确定该仿真区域为敏感区域。因此，本申请通过构建仿真模型，且将仿真模型中的功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域，并且通过仿真模拟结果在各仿真区域中确定敏感区域，进而可以有效降低敏感区域的检测成本。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为一个实施例中功率器件的敏感区域检测方法的流程示意图；图2为一个实施例中功率器件的仿真结构示意图；图3为一个实施例中功率器件的漏端电流随时间变化示意图；图4为一个实施例中功率器件的结构仿真划分示意图；图5为另一个实施例中功率器件的结构仿真划分示意图；图6为一个实施例中功率器件的SEB阈值电压与带电粒子的LET值之间的关系曲线示意图。具体实施方式为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述方向，但这些方向不受这些术语限制。这些术语仅用于将两个方向区分。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应当理解的是，术语“包括/包含”或“具有”等指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种功率器件的敏感区域检测方法，用于检测功率器件的单粒子烧毁敏感区域，其特征在于，包括：/n获取所述功率器件的器件信息；/n根据所述器件信息构建仿真模型；/n将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域；/n基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的所述仿真区域的过程；/n根据仿真模拟结果判断各所述仿真区域是否发生单粒子烧毁；/n如果所述仿真区域发生单粒子烧毁，则确定该仿真区域为敏感区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种功率器件的敏感区域检测方法，用于检测功率器件的单粒子烧毁敏感区域，其特征在于，包括：
获取所述功率器件的器件信息；
根据所述器件信息构建仿真模型；
将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域；
基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的所述仿真区域的过程；
根据仿真模拟结果判断各所述仿真区域是否发生单粒子烧毁；
如果所述仿真区域发生单粒子烧毁，则确定该仿真区域为敏感区域。


2.根据权利要求1所述的功率器件的敏感区域检测方法，其特征在于，所述将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域包括：
将所述功率器件的长度方向作为第一方向；
将所述功率器件的仿真结构沿第一方向进行划分而生成所述多个仿真区域。


3.根据权利要求1所述的功率器件的敏感区域检测方法，其特征在于，所述将所述仿真模型中的所述功率器件的仿真结构划分为多个仿真区域包括：
将所述功率器件的长度方向作为第一方向，所述功率器件的厚度方向作为第二方向；
将所述功率器件的仿真结构沿第一方向以及第二方向进行划分而生成所述多个仿真区域。


4.根据权利要求2或3所述的功率器件的敏感区域检测方法，其特征在于，所述多个仿真区域为2n个相同的仿真区域，n为大于1的正整数，且2n个所述仿真区域关于中心平面对称分布，所述中心平面与所述第一方向垂直；
所述基于所述仿真模型仿真模拟试验带电粒子入射至处于关态且在预设偏置电压下的功率器件的所述仿真区域的过程包括：
设置所...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭超，雷志锋，张战刚，何玉娟，黄云，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：广东;44