一种靶材翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公布了一种靶材翻转装置，包括放置板，所述放置板由互相铰接的转动板一和转动板二组成，所述转动板一和转动板二上设置放置靶材的放置槽，所述放置板下方设置固定台，所述固定台上垂直设置两个固定杆和两个滑动杆，所述固定杆顶端与转动板一转动连接，所述滑动杆顶端与转动板二转动连接，所述固定台上设置与滑动杆相匹配的滑槽，所述固定台与转动板一之间转动连接电动推杆，解决了靶材翻面难的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材翻转装置
本技术涉及半导体制造
，具体涉及一种靶材翻转装置。
技术介绍
近年来，市场上平面显示器和导电玻璃的尺寸都相当大，导电玻璃的宽度甚至可以达到3000mm。因此，所需溅射靶材的尺寸也越来越大，但原有拼接靶材存在效率低、质量不稳定及结合处会造成镀膜品质下降的特性，市场急需一体化成型的大型靶材来满足大屏幕显示器的生产。大尺寸靶材具有尺寸大、重量高等特性（G5.5大尺寸钼靶材的单片（套）尺寸为1950×1580×14mm，单片重量达440kg，G5.5钼靶绑定用的配套铜背板尺寸则为2300mm(长)×1700（宽））。靶材组件通常由符合溅射性能的靶材基片和与所述靶材基材结合、具有一定强度的背板构成。在目前所采用的各种镀膜方法中，由于成膜原理不同，溅射镀膜比其他镀膜的效果更好。例如，溅射镀膜所形成的膜更为均匀，强度大且性能优良。与其他镀膜方法相比，溅射镀膜对原材料（靶材和背板）的清洁度要求也非常高。因此，为了保证靶材和背板具有足够的清洁度，需要充分完全地对粘结好的靶材溅射面和背板反面进行研磨和清洗。在研磨和清洗过程中需要翻转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材翻转装置，其特征在于，包括放置板（1），所述放置板（1）由互相铰接的转动板一（2）和转动板二（3）组成，所述转动板一（2）和转动板二（3）上设置放置靶材的放置槽（4），所述放置板（1）下方设置固定台（5），所述固定台（5）上垂直设置两个固定杆（6）和两个滑动杆（7），所述固定杆（6）顶端与转动板一（2）转动连接，所述滑动杆（7）顶端与转动板二（3）转动连接，所述固定台（5）上设置与滑动杆（7）相匹配的滑槽（8），所述固定台（5）与转动板一（2）之间转动连接电动推杆（9）。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材翻转装置，其特征在于，包括放置板（1），所述放置板（1）由互相铰接的转动板一（2）和转动板二（3）组成，所述转动板一（2）和转动板二（3）上设置放置靶材的放置槽（4），所述放置板（1）下方设置固定台（5），所述固定台（5）上垂直设置两个固定杆（6）和两个滑动杆（7），所述固定杆（6）顶端与转动板一（2）转动连接，所述滑动杆（7）顶端与转动板二（3）转动连接，所述固定台（5）上设置与滑动杆（7）相匹配的滑槽（8），所述固定台（5）与转动板一（2）之间转动连接电动推杆（9）。


2.根据权利要求1所述的一种靶材翻转装置，其特征在于，所述滑动杆（7）底端两侧分别设置心轴一（10），所述心轴一（10）上设置滚轮一（11），所述滚轮一（11）外周面与滑槽（8）底面相接触，所述滚轮一（11）上方的滑动杆（7）两侧设置限位块（12），所述滑槽（8）两侧设置与限位块（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：念雯雯，高建杰，孟红波，李金龙，
申请(专利权)人：洛阳丰联科绑定技术有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41