一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体切割研磨水过滤的技术领域，尤其是涉及一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统。一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐、过滤罐、过滤组件、滤清液罐和原料泵，所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管，所述连接管悬伸至所述过滤罐内，所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器，所述过滤罐的下方设置有排渣阀，所述过滤罐上设置有震动泵。原液罐内的原液通过原料泵加入至过滤罐内，并通过过滤组件的过滤进入到滤清液罐内储存，从而完成过滤。启动震动泵，震动泵带动过滤罐及过滤罐内的过滤器震动，从而使泥饼从过滤器上掉落，并从排渣口处将泥渣排出。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统
本技术涉及半导体切割研磨水过滤的
，尤其是涉及一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统。
技术介绍
随着社会经济的不断发展和科技的进步，电子产品发展速度越来越快，而半导体材料是很多电子产品中不可或缺的原材料。半导体材料在加工成各种零部件的过程中，需要根据产品要求及设定的尺寸大小，进行研磨和切割处理，在研磨和切割过程中需要使用超纯水进行冲洗，因而产生了大量的切割研磨水。切割研磨水中主要的污染物为悬浮颗粒（硅粉、铜粉等），此类废水的特点是悬浮物浓度高，质量轻，极难沉淀，外观浑浊，在没有外加化学品的情况下，其有机物、氮、磷含量很低，几乎可以忽略不计。在现有的切割研磨水处理系统中，最为广泛采用的是化学混凝沉淀处理方式，工艺设备复杂，占地面积大，投资及运行费用高，操作复杂，对极细小的悬浮物处理效果不佳。因而，在现有技术中，采用微孔过滤技术对切割研磨水进行过滤，在微孔过滤的过程中，会在滤芯的表面产生泥饼，泥饼会逐渐堵塞滤芯上的微孔，因而导致过滤效率逐渐降低，因而需要在一段时间后，对泥饼进行清理，现有技术中，通常利用大量的水将泥饼从滤芯表面冲洗掉，造成了清水的大量浪费。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其优势在于，既能够减少清水的浪费，也能够提升清理泥饼的效率。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐、与所述原液罐相连通的过滤罐、安装在所述过滤罐内的过滤组件、与所述过滤组件相连通的滤清液罐和为过滤提供动力的原料泵，所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管，所述连接管悬伸至所述过滤罐内，所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器，所述过滤罐的下方设置有排渣阀，所述过滤罐上设置有震动泵。通过采用上述技术方案，原液罐内的原液通过原料泵加入至过滤罐内，并通过过滤组件的过滤进入到滤清液罐内储存，从而完成过滤。启动震动泵，震动泵带动过滤罐及过滤罐内的过滤器震动，从而使泥饼从过滤器上掉落，并从排渣口处将泥渣排出。作为优选，所述连接管上连接有加药泵，所述加药泵通过一加药管连通至一加药罐，加药罐内填充有助溶剂。通过采用上述技术方案，在需要清理过滤器时，通过加药泵将助溶剂加入到过滤器内，助溶剂有助于将覆盖在过滤器表面的泥饼进行反应，使泥渣变成容易溶解于水的小颗粒。同时，对泥饼进行反冲洗，将泥饼冲掉，加快泥饼的清理。作为优选，所述过滤罐上设置有辅助排渣管，所述辅助排渣管上设置有辅助排渣阀。通过采用上述技术方案，通过辅助排渣管的设置，在助溶剂加入到过滤器中，并完成反洗之后，由于助溶剂通常是酸性或碱性助剂，因而通过辅助排渣管将含有助溶剂的废液排出，与普通泥渣进行分别处理，防止污染的发生。作为优选，所述辅助排渣管连通至废液处理池。通过采用上述技术方案，通过废液处理池的设置，对含有助溶剂的废液进行中和处理，再进行排放，有助于废液的集中处理，降低处理成本，提高处理效率。作为优选，所述连接管上连接有水反洗泵。通过采用上述技术方案，通过反洗泵的设置，通过反洗泵能够对过滤器进行反洗，从而便于将堵塞在微孔内的泥渣冲出，提高泥渣排出的效率。作为优选，所述水反洗泵连通至所述滤清液罐。通过采用上述技术方案，滤清液罐为水反洗提供水源，因而无需另外提供水源，一方面减少了水的浪费，另一方面使过滤系统结构紧凑，使用方便。作为优选，所述微孔过滤系统还包括吹气组件，所述吹气组件包括压缩空气储气罐，所述压缩空气储气罐通过一正吹管连通至所述过滤罐内，所述正吹管正对过滤器，所述正吹管上设置有正吹阀。通过采用上述技术方案，通过吹气组件的设置，在需要对泥饼进行清理时，能够先利用压缩空气储气罐内的高压空气对过滤器进行正吹，一方面高压空气能够将部分的泥饼直接吹掉，另一方面，高压空气能够迅速带走泥饼内的水分，从而使泥饼干燥，减少其对过滤器的粘附力，甚至开裂破碎，更有利于泥饼的清理。作为优选，所述压缩空气储气罐通过一反吹管连通至连接管，所述反吹管上设置有反吹阀。通过采用上述技术方案，在对过滤器进行正吹后，再进行反吹，一方面高压空气能够将堵塞在微孔内的泥渣吹出，另一方面，反吹能够将残留在过滤器上的泥饼继续吹落。综上所述，本技术的有益技术效果为：1.占地面积小，结构紧凑，可集成并联多个过滤罐形成过滤系统；2.泥饼清理速度快，保证了较高的过滤效率。附图说明图1是一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统的结构示意图。图中，1、原液罐；2、过滤组件；21、连接管；22、过滤器；23、循环阀；24、滤清液流量计；25、循环管；3、滤清液罐；31、水反洗泵；32、水反洗管；4、原料泵；5、排渣阀；6、过滤罐；61、残液处理泵；62、残液管；63、残液喷淋口；64、残液流量计；65、排气管；66、排气阀；67、检测流量计；68、辅助排渣管；69、废液处理池；7、吹气组件；71压缩空气储气罐；72、正吹管；73、正吹阀；74、反吹管；75、反吹阀；8、过滤助剂罐；81、加料泵；82、加料循环阀；9、加药罐；91、加药泵；92、加药管；a、震动泵；b、辅助排渣阀。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。参照图1，为本技术公开的一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统，包括原液罐1、过滤罐6、过滤组件2、滤清液罐3和原料泵4。过滤罐6与滤清液罐3之间通过过滤组件2相连通，原液罐1与过滤罐6相连通，原料泵4为原液罐1内的原液向滤清液罐3流动提供动力。过滤组件2包括连接管21和过滤器22，连接管21用于连通滤清液罐3和过滤罐6，连接管21悬伸于过滤罐6的上部，过滤器22安装于在过滤罐6内的连接管21的下侧。过滤器22包括多组并联设置的滤芯，滤芯内填充有微孔薄膜，微孔薄膜上均布有孔径为0.5μm的微孔。连接管21上设置有滤清液流量计24，通过滤清液流量计24的设置，能够通过滤清液流量计24的示数变化了解过滤的速率，当滤清液流量计24的示数小于某一预设值时，即可说明需要进行过滤器22的清理。过滤罐6的下部直径逐渐减小呈漏斗状，过滤罐6的底部设置有排渣阀5，排渣阀5用于废渣的排出。滤清液罐3连接有水反洗泵31，水反洗泵31通过一水反洗管32连通至连接管21。利用水反洗泵31对过滤器22进行反洗，从而将过滤器22上小孔内的泥渣冲出，同时，将泥饼从过滤器22上冲掉，以实现过滤组件2的过滤顺畅。同时，对过滤器22进行反洗的水来自于滤清液罐3内，因而无需另外提供水源，一方面减少了水的浪费，另一方面使过滤系统结构紧凑，使用方便。过滤罐6的底部设置有连接有残液处理泵61，残液处理泵61通过一残液管62连通至过滤罐6的顶部，残液管62的端部设置有残液喷淋口63，残液喷淋口63位于过滤器22的正上方。因而，通过残液处理泵61本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐（1）、与所述原液罐（1）相连通的过滤罐（6）、安装在所述过滤罐（6）内的过滤组件（2）、与所述过滤组件（2）相连通的滤清液罐（ 3）和为过滤提供动力的原料泵（4），其特征在于，所述过滤组件（2）包括用于连通所述滤清液罐（ 3）与所述过滤罐（6）的连接管（21），所述连接管（21）悬伸至所述过滤罐（6）内，所述连接管（21）于所述过滤罐（6）内连接有过滤器（22），所述过滤罐（6）的下方设置有排渣阀（5），所述过滤罐（6）上设置有震动泵（a）。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐（1）、与所述原液罐（1）相连通的过滤罐（6）、安装在所述过滤罐（6）内的过滤组件（2）、与所述过滤组件（2）相连通的滤清液罐（3）和为过滤提供动力的原料泵（4），其特征在于，所述过滤组件（2）包括用于连通所述滤清液罐（3）与所述过滤罐（6）的连接管（21），所述连接管（21）悬伸至所述过滤罐（6）内，所述连接管（21）于所述过滤罐（6）内连接有过滤器（22），所述过滤罐（6）的下方设置有排渣阀（5），所述过滤罐（6）上设置有震动泵（a）。


2.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述连接管（21）上连接有加药泵（91），所述加药泵（91）通过一加药管（92）连通至一加药罐（9），加药罐（9）内填充有助溶剂。


3.根据权利要求2所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述过滤罐（6）上设置有辅助排渣管（68），所述辅助排渣管上设置有辅助排渣阀（b）。


4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁小贵，
申请(专利权)人：深圳市水视界环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44