一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统及微孔过滤工艺技术方案

技术编号:24323283 阅读:29 留言:0更新日期:2020-05-29 17:21
本发明专利技术涉及半导体切割研磨水过滤的技术领域,尤其是涉及一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统及微孔过滤工艺。一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,包括原液罐、过滤罐、过滤组件、滤清液罐和原料泵,过滤组件包括连接管,连接管悬伸至所述过滤罐内,连接管于过滤罐内连接有过滤器。需要对泥饼进行清理时,利用水反洗泵对过滤器进行反洗,从而将过滤器上小孔内的泥渣冲出,同时,将泥饼从过滤器上冲掉,以实现过滤组件的过滤顺畅。同时,对过滤器进行反洗的水来自于滤清液罐内,因而无需另外提供水源,一方面减少了水的浪费,另一方面使过滤系统结构紧凑,使用方便。

A microporous filtration system and technology for cutting and grinding water of semiconductor

【技术实现步骤摘要】
一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统及微孔过滤工艺
本专利技术涉及半导体切割研磨水过滤的
,尤其是涉及一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统及微孔过滤工艺。
技术介绍
随着社会经济的不断发展和科技的进步,电子产品发展速度越来越快,而半导体材料是很多电子产品中不可或缺的原材料。半导体材料在加工成各种零部件的过程中,需要根据产品要求及设定的尺寸大小,进行研磨和切割处理,在研磨和切割过程中需要使用超纯水进行冲洗,因而产生了大量的切割研磨水。切割研磨水中主要的污染物为悬浮颗粒(硅粉、铜粉等),此类废水的特点是悬浮物浓度高,质量轻,极难沉淀,外观浑浊,在没有外加化学品的情况下,其有机物、氮、磷含量很低,几乎可以忽略不计。在现有的切割研磨水处理系统中,最为广泛采用的是化学混凝沉淀处理方式,工艺设备复杂,占地面积大,投资及运行费用高,操作复杂,对极细小的悬浮物处理效果不佳。因而,在现有技术中,采用微孔过滤技术对切割研磨水进行过滤,在微孔过滤的过程中,会在滤芯的表面产生泥饼,泥饼会逐渐堵塞滤芯上的微孔,因而导致过滤效率逐渐降低,因而需要在一段时间后,对泥饼进行清理,现有技术中,通常利用大量的水将泥饼从滤芯表面冲洗掉,造成了清水的大量浪费。
技术实现思路
本专利技术的第一个目的是提供一种半导体切割研磨石的微孔过滤系统,其优势在于,既能够减少清水的浪费,也能够提升清理泥饼的效率。本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,包括原液罐、与所述原液罐相连通的过滤罐、安装在所述过滤罐内的过滤组件、与所述过滤组件相连通的滤清液罐和为过滤提供动力的原料泵,所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管,所述连接管悬伸至所述过滤罐内,所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器,所述过滤罐的下方设置有排渣阀,所述滤清液罐还连接有水反洗泵,所述水反洗泵通过一水反洗管连通至连接管。通过采用上述技术方案,原液在原料泵的作用下经过过滤器的过滤,再通过连接管进入到滤清液罐内,从而完成过滤。在过滤的过程中,过滤器的表面逐渐形成泥饼,泥饼达到一定的程度后,需要对泥饼进行清理。此时,利用水反洗泵对过滤器进行反洗,从而将过滤器上小孔内的泥渣冲出,同时,将泥饼从过滤器上冲掉,以实现过滤组件的过滤顺畅。同时,对过滤器进行反洗的水来自于滤清液罐内,因而无需另外提供水源,一方面减少了水的浪费,另一方面使过滤系统结构紧凑,使用方便。作为优选,所述微孔过滤系统还包括吹气组件,所述吹气组件包括压缩空气储气罐,所述压缩空气储气罐通过一正吹管连通至所述过滤罐内,所述正吹管正对过滤器,所述正吹管上设置有正吹阀。通过采用上述技术方案,通过吹气组件的设置,在需要对泥饼进行清理时,能够先利用压缩空气储气罐内的高压空气对过滤器进行正吹,一方面高压空气能够将部分的泥饼直接吹掉,另一方面,高压空气能够迅速带走泥饼内的水分,从而使泥饼干燥,减少其对过滤器的粘附力,甚至开裂破碎,更有利于泥饼的清理。作为优选,所述压缩空气储气罐通过一反吹管连通至连接管,所述反吹管上设置有反吹阀。通过采用上述技术方案,在对过滤器进行正吹后,再进行反吹,一方面高压空气能够将堵塞在微孔内的泥渣吹出,另一方面,反吹能够将残留在过滤器上的泥饼继续吹落。作为优选,所述过滤罐上安装有震动泵。通过采用上述技术方案,通过震动泵安装在过滤罐上,在需要对泥饼进行清理时,启动震动泵,带动过滤罐及过滤罐内的过滤器震动,从而使得泥饼的掉落更加顺利。同时,在排出废渣时,震动能够使得废渣更有效的从排渣阀排出。作为优选,所述过滤罐连接有残液处理泵,所述残液处理泵通过一残液管连通至所述过滤罐,所述残液管的端部设置有喷淋口,所述喷淋口正对过滤器的上方。通过采用上述技术方案,通过残液处理泵、残液管及喷淋口的设置,能够将残液运输至过滤器的上方,并对过滤器进行喷淋,从而进一步对过滤器的表面进行清理,减少泥饼的残留。作为优选,所述过滤罐的顶部设置有与所述过滤罐内相连通的排气管,所述排气管上设置有排气阀。通过采用上述技术方案,通过排气阀的设置,使得在正吹与反吹时,过滤罐一个排气的通道,因而无需排渣阀时刻打开进行排气,只需在积累一定废渣后才需打开排渣阀将废渣排出,便于对废渣进行集中处理。作为优选,所述排气管上设置有对液体流量进行检测的检测流量计。通过采用上述技术方案,通过检测流量计的设置,能够对正吹时排出的气体中的含水量进行检测,因而当含水量降低为零后,说明泥饼已经完全吹干,此时再进行反吹,能够有效提升反吹吹落泥饼的效率。作为优选,所述微孔过滤系统还包括装有膨松剂的过滤助剂罐,所述过滤助剂罐连接有加料泵,所述加料泵连通至所述过滤罐。通过采用上述技术方案,通过将膨松剂与原液共同加入到过滤器内,膨松剂能够堵塞在微孔内的泥渣快速溶解或快速反应生成可溶性物质,或迅速降解,使泥渣成为细小且与微孔粘附性较小的颗粒,便于反吹与水反洗时,将泥渣从微孔内带出。作为优选,所述连接管上连通有加药管,所述加药管连通至加药罐中,所述加药管上设置有药液阀。通过采用上述技术方案,当正吹、反吹、水反洗后,过滤器的通畅性仍然不佳时,将无机酸或碱溶液通过加药管加入至过滤器内,利用无机酸或碱溶液与微孔内的泥渣进行反应,从而使得泥渣变成易于溶解的颗粒,再进行水反洗,将微孔进行疏通,同时,也对过滤系统进行保护,稀释无机酸或碱溶液,以减少无机酸或碱溶液对过滤系统的侵蚀。本专利技术的第二个目的是提供一种半导体切割研磨水的微孔过滤工艺。一种半导体切割研磨水的微孔过滤工艺,具体包括以下步骤:S1:原液罐内的原液进入到过滤罐内,原液经过过滤器的过滤并经过连接管进入到滤清液罐;S2:当需要对过滤器上的泥饼进行清理时,启动震动泵,将过滤助剂罐内的膨松剂加入到过滤罐内进行过滤,并将液体全部排至滤清液罐内;S3:打开正吹阀与排气阀,利用压缩空气管储气罐内的高压空气对过滤器外进行正吹,直至检测流量计检测不到排气管内有液体排出;S4:关闭正吹阀,开启反吹阀,对过滤器进行反吹;S5:将排渣阀打开,进行排渣。S6:关闭反吹阀及排气阀,利用水反洗泵对过滤器进行水反洗;S7:利用残液处理泵将残液运送至过滤器的上方进行喷淋;S8:将残液经过循环管送入原液罐内继续参与正常的过滤循环。通过采用上述技术方案,通过S1,能够对原液进行过滤,并将过滤后的液体储存在滤清液罐内。通过S2,膨松剂与原液共同加入到过滤器内,膨松剂能够堵塞在微孔内的泥渣快速溶解或快速反应生成可溶性物质,或迅速降解,使泥渣成为细小且与微孔粘附性较小的颗粒。开启震动泵后,使得过滤罐及过滤器进行震动,从而便于泥饼在经过膨松剂作用后从过滤器上掉落。通过S3,利用压缩空气储气罐内的高压空气对过滤器进行正吹,一方面高压空气能够将部分的泥饼直接吹掉,另一方面,高压空气能够迅速带走泥饼内的水分,从而使泥饼本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,包括原液罐、与所述原液罐相连通的过滤罐、安装在所述过滤罐内的过滤组件、与所述过滤组件相连通的滤清液罐和为过滤提供动力的原料泵,其特征在于,所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管,所述连接管悬伸至所述过滤罐内,所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器,所述过滤罐的下方设置有排渣阀,所述滤清液罐还连接有水反洗泵,所述水反洗泵通过一水反洗管连通至连接管。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,包括原液罐、与所述原液罐相连通的过滤罐、安装在所述过滤罐内的过滤组件、与所述过滤组件相连通的滤清液罐和为过滤提供动力的原料泵,其特征在于,所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管,所述连接管悬伸至所述过滤罐内,所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器,所述过滤罐的下方设置有排渣阀,所述滤清液罐还连接有水反洗泵,所述水反洗泵通过一水反洗管连通至连接管。


2.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,其特征在于:所述微孔过滤系统还包括吹气组件,所述吹气组件包括压缩空气储气罐,所述压缩空气储气罐通过一正吹管连通至所述过滤罐内,所述正吹管正对过滤器,所述正吹管上设置有正吹阀。


3.根据权利要求2所述的一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,其特征在于:所述压缩空气储气罐通过一反吹管连通至连接管,所述反吹管上设置有反吹阀。


4.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,其特征在于:所述过滤罐连接有残液处理泵,所述残液处理泵通过一残液管连通至所述过滤罐,所述残液管的端部设置有喷淋口,所述喷淋口正对过滤器的上方。


5.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统,其特征在于:所述过滤罐的顶部设置有与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:袁小贵
申请(专利权)人:深圳市水视界环保科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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