光学检测设备及光学器件制造设备制造技术

技术编号:25809370 阅读:44 留言:0更新日期:2020-09-29 18:44
本实用新型专利技术提供一种光学检测设备及光学器件制造设备,包括:调制器件,包含空间光调制器,所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端,所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上,接收从待测器件输出的光线;检测设备,包括第二光输入端和第二控制端,所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上,接收从所述调制器件输出的光线;控制器,分别与所述第一控制端和所述第二控制端电连接。

【技术实现步骤摘要】
光学检测设备及光学器件制造设备
本技术涉及光学检测设备领域,具体地,涉及光学检测设备及光学器件制造设备。
技术介绍
专利文献CN109520712A公开了一种光学检测方法、系统及光学器件制造系统,可以模拟任意波前,根据补偿镜头中尚未装配的镜片,可以直接模拟出已装配的镜片能够达到最终成像效果,若发现存在问题,则可以直接给出反馈停止装配进行修正,避免将后续好的镜片装配到已存在问题的镜头上。这种结构虽然已经满足了大多数光学检测的需求,但是这种结构并不能满足所有类型的检测,导致其应用存在局限性。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷,本技术的目的是提供一种光学检测设备及光学器件制造设备。根据本技术提供的一种光学检测设备,包括:调制器件:包含空间光调制器,所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端,所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上,接收从待测器件输出的光线;检测设备:包括第二光输入端和第二控制端,所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上,接收从所述调制器件输出的光线;...

【技术保护点】
1.一种光学检测设备,其特征在于,包括:/n调制器件:包含空间光调制器,所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端,所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上,接收从待测器件输出的光线;/n检测设备:包括第二光输入端和第二控制端,所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上,接收从所述调制器件输出的光线;/n控制器:分别与所述第一控制端和所述第二控制端电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学检测设备,其特征在于,包括:
调制器件:包含空间光调制器,所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端,所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上,接收从待测器件输出的光线;
检测设备:包括第二光输入端和第二控制端,所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上,接收从所述调制器件输出的光线;
控制器:分别与所述第一控制端和所述第二控制端电连接。


2.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述空间光调制器的数量为一片或多片。


3.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述检测设备的包含一件或多件调制器件,和一件或多件检测设备。


4.根据权利要求2所述的光学检测设备,其特征在于,所述空间光调制器包含硅基液晶、LCD、微镜阵列DMD、OLED、微振镜、光栅和光栅阵列中的任一种或任多种。


5.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述调制器件还包括光学元器件,所述光学元器件设置于所述待测器件与所述空间光调制器之间的光路上,和/或所述光学元器件还设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:谈顺毅
申请(专利权)人:上海慧希电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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