光学检测设备及光学器件制造设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种光学检测设备及光学器件制造设备，包括：调制器件，包含空间光调制器，所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端，所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上，接收从待测器件输出的光线；检测设备，包括第二光输入端和第二控制端，所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上，接收从所述调制器件输出的光线；控制器，分别与所述第一控制端和所述第二控制端电连接。

【技术实现步骤摘要】
光学检测设备及光学器件制造设备
本技术涉及光学检测设备领域，具体地，涉及光学检测设备及光学器件制造设备。
技术介绍
专利文献CN109520712A公开了一种光学检测方法、系统及光学器件制造系统，可以模拟任意波前，根据补偿镜头中尚未装配的镜片，可以直接模拟出已装配的镜片能够达到最终成像效果，若发现存在问题，则可以直接给出反馈停止装配进行修正，避免将后续好的镜片装配到已存在问题的镜头上。这种结构虽然已经满足了大多数光学检测的需求，但是这种结构并不能满足所有类型的检测，导致其应用存在局限性。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种光学检测设备及光学器件制造设备。根据本技术提供的一种光学检测设备，包括：调制器件：包含空间光调制器，所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端，所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上，接收从待测器件输出的光线；检测设备：包括第二光输入端和第二控制端，所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上，接收从所述调制器件输出的光线；控制器：分别与所述第一控制端和所述第二控制端电连接。优选地所述检测设备的包含一件或多件调制器件，和一件或多件检测设备。优选地，所述空间光调制器包含硅基液晶、LCD、微镜阵列DMD、OLED、微振镜、光栅和光栅阵列中的任一种或任多种。优选地，所述调制器件还包括光学元器件，所述光学元器件设置于所述待测器件与所述空间光调制器之间的光路上；或者，所述光学元器件还设置于所述空间光调制器与所述检测设备之间的光路上。优选地，所述光学元器件包括透镜、透镜组、光阑、rotator、玻片、Polarisor和BS中的任一种或任多种光学元器件。优选地，所述光学检测设备还包括光源，所述光源输出的光线照射在所述待测器件上。优选地，所述光源包括LED或LD，所述LED或所述LD与所述控制器电连接；所述光源还包括依次设置于所述LED或LD输出光路上的：chart、窄带滤光片、偏振片和准直片。优选地，所述检测设备包括CCD、CMOS和胶片中的任一种或任多种感光元件。根据本技术提供的一种光学器件制造设备，包括光学检测设备。与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：1、本技术相对于现有技术，提供了一种新的光学检测设备，在满足光学检测的同时，具有更好的可扩展性。2、在本技术的结构基础上，可以在同一待测器件的输出光路上设计多个调制器件和检测设备，从而实现多视场的同时检测，提高检测效率。本技术还可以实现如下效果：通过对待测器件输出的波前进行任意补偿，使其能够成像或提高成像质量，从而可被检测设备检测，所述补偿是通过调制设备的空间光调制器实现，其能够生成任意相位分布，可以模拟任意曲面(例如平面，柱面，球面，非球面，自由曲面及其组合。能够检测完整镜头，或者尚未装配完成的部分镜头，直接判断其成像质量。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术提供的光学检测设备的框架结构示意图。图2、3、4分别为不同实施例的结构示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术，但不以任何形式限制本技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本技术的保护范围。如图1所示，本技术提供的光学检测设备，包括：光源、调制器件、检测设备和控制器。光源输出的光线照射在待测器件上，光线穿过待测器件后输出。调制器件包含空间光调制器，调制器件包括第一光输入端、光输出端和第一控制端，第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上，接收从待测器件输出的光线。检测设备包括第二光输入端和第二控制端，第二光输入端设置于光输出端输出光线的光路上，接收从调制器件输出的光线。控制器分别与第一控制端、第二控制端及光源电连接。检测设备包括CCD、CMOS和胶片中的任一种或任多种感光元件。其中，对于检测设备以及控制器的具体工作方式，本技术不做限制，本领域技术人员可以直接应用现有技术中的工作方式。其中，空间光调制器包含硅基液晶、LCD、微镜阵列DMD、OLED、微振镜、光栅和光栅阵列中的任一种或任多种。调制器件还包括光学元器件，光学元器件设置于待测器件与空间光调制器之间的光路上；或者，光学元器件还设置于空间光调制器与检测设备之间的光路上。光学元器件包括透镜、透镜组、光阑、旋光片(rotator)、玻片、偏振片(Polarisor)和分光棱镜(BS)中的任一种或任多种光学元器件。空间光调制器采用相位调制和/或强度调制。本技术的工作原理如下：调制器件接收待测器件输出的光线，调制器件生成调制信息对待测器件输出光线的波前进行调制，调制后生成可被检测系统检测的图像信息，调制信息为全息图或者相息图。检测设备根据经过待测器件及调制器件的光得到检测图像信息，控制器计算和/或选取检测图像信息，输出至调制器件。控制器控制并同步调制器件及检测设备，控制器根据目标的波前，通过实时计算或读取的方式得到调制信息，所述实时计算或读取依据为目标的波前信息，所述控制器控制调制系统生成所述调制信息对应的波前，在物理上调制出所需光波前和/或光场。检测设备将检测得到的参数反馈所述控制器，所述控制器根据所述反馈来实时计算或读取调制信息。控制器根据检测图像信息得到的检测参数是否达到测试标准，若是则输出检测结果，若否则根据检测结果重新计算调制器件的调制信息，对检测图像进行补偿。在本技术中，采用FourierTransform、FresnelTransform、SpatialFrequencyPropagation中的任一种或任多种方式来计算生成所述调制信息调制的波前对应图像的传播。调制采用将波前补偿与测试图像传播的波前叠加来生成全息图或者相息图。测试标准包括如下至少一种标准：待测器件的设计指标参数、检测次数、检测进行的时间、检测的精度范围。检测参数包括：相同视场下的SFR、PSF、ESF、MTF、不同视场下的SFR、PSF、ESF、MTF、像差参数、色差参数、焦距中、光学多项式系数的任一种或任多种参数。补偿是补偿像差，包括：球差、彗差、像散、离焦、色散、场曲、畸变、高阶像差中的中任一种或任多种类型。待测器件可以是部分或全部的目标视场被所述检测设备通过获取的图像信息所检测。待测器件对应的不同视场分别由所述检测设备根据调制器件分别生成的调制信息来测量；并且调制波前以不同参数和/或对应的不同视场先后输出多次。如图2所示，实施例1中，光源包括LED或LD，LED或LD与控制器电连接；光源还包括依次设置于LED或LD输出光路上的：chart、窄带滤光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学检测设备，其特征在于，包括：/n调制器件：包含空间光调制器，所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端，所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上，接收从待测器件输出的光线；/n检测设备：包括第二光输入端和第二控制端，所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上，接收从所述调制器件输出的光线；/n控制器：分别与所述第一控制端和所述第二控制端电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学检测设备，其特征在于，包括：
调制器件：包含空间光调制器，所述空间光调制器包括第一光输入端、光输出端和第一控制端，所述第一光输入端设置于待测器件输出光线的光路上，接收从待测器件输出的光线；
检测设备：包括第二光输入端和第二控制端，所述第二光输入端设置于所述光输出端输出光线的光路上，接收从所述调制器件输出的光线；
控制器：分别与所述第一控制端和所述第二控制端电连接。


2.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述空间光调制器的数量为一片或多片。


3.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述检测设备的包含一件或多件调制器件，和一件或多件检测设备。


4.根据权利要求2所述的光学检测设备，其特征在于，所述空间光调制器包含硅基液晶、LCD、微镜阵列DMD、OLED、微振镜、光栅和光栅阵列中的任一种或任多种。


5.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述调制器件还包括光学元器件，所述光学元器件设置于所述待测器件与所述空间光调制器之间的光路上,和/或所述光学元器件还设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：谈顺毅，
申请(专利权)人：上海慧希电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31