一种基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器制造技术

本发明专利技术提供了一种基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器，石墨烯层置于衬底上，第一电极、第二电极、光声材料部置于石墨烯层上，第一电极和第二电极置于光声材料部的两侧，石墨烯层包括多层石墨烯。在使用时，脉冲光照射光声材料部，光声材料部产生声波，声波改变石墨烯层中各层石墨烯的接触状态，改变石墨烯层中的层间电阻，从而改变了石墨烯层的导电特性，通过测量石墨烯层的导电特性实现脉冲光的探测。由于石墨烯层中的层间电阻对各层间的相对位置非常敏感，所以本发明专利技术具有灵敏度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器
本专利技术涉及光探测领域，具体涉及一种基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器。
技术介绍
脉冲光具有较强的能量和较短的与物质相互作用的时间。近年来，脉冲光在打孔、打标、切割、焊接等技术中的应用越来越广泛和深入。这些技术中，测量光脉冲辐照能量对脉冲光技术的应用至关重要。现有技术中，基于光热效应的脉冲光探测器的响应慢，基于光电效应的脉冲光探测器对于不同频率的光具有不同的响应，所以不能针对宽光谱脉冲光进行探测。专利申请CN110686771A提出“一种基于光声效应的宽光谱脉冲光探测器”，将脉冲光信号转化为声波信号，再利用压电效应，将声波信号转化为电信号，实现了宽光谱脉冲光探测。但是，该技术将声波信号转化为电信号的效率低，降低了探测的灵敏度。探索其他将声波信号转化为电信号的方式，有益于提升探测的灵敏度。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器，该脉冲光探测器包括衬底、石墨烯层、第一电极、第二电极、光声材料部；石墨烯层置于衬底上，第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器，其特征在于，包括：衬底、石墨烯层、第一电极、第二电极、光声材料部，所述石墨烯层置于所述衬底上，所述第一电极、所述第二电极、所述光声材料部置于所述石墨烯层上，所述第一电极和所述第二电极置于所述光声材料部的两侧，所述第一电极和所述第二电极与所述光声材料部不接触，所述石墨烯层包括多层石墨烯；使用时，脉冲光照射所述光声材料部，所述光声材料部产生声波，声波改变所述石墨烯层的导电特性，通过测量所述石墨烯层的导电特性实现脉冲光的探测。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器，其特征在于，包括：衬底、石墨烯层、第一电极、第二电极、光声材料部，所述石墨烯层置于所述衬底上，所述第一电极、所述第二电极、所述光声材料部置于所述石墨烯层上，所述第一电极和所述第二电极置于所述光声材料部的两侧，所述第一电极和所述第二电极与所述光声材料部不接触，所述石墨烯层包括多层石墨烯；使用时，脉冲光照射所述光声材料部，所述光声材料部产生声波，声波改变所述石墨烯层的导电特性，通过测量所述石墨烯层的导电特性实现脉冲光的探测。


2.如权利要求1所述的基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器，其特征在于：所述衬底为二氧化硅。


3.如权利要求2所述的基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器，其特征在于：还包括半导体层，所述半导体层位于所述衬底与所述石墨烯层之间。


4.如权利要求3所述的基于石墨烯电阻效应的光声脉冲光探测器，其特征在于：所述半导体层的材料为二...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：西安柯莱特信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61