一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，包括基座及主转轴，主转轴上固定设置有承载架，承载架一端设置有可径向转动的第一中间转轴及第一丝辊转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二中间转轴及第二丝辊转轴，第一中间转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，第二中间转轴外端与基座之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴与第一丝辊转轴之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴与第二丝辊转轴之间设置有第四齿轮传动组件，第一丝辊转轴上设置有第一丝辊，第二丝辊转轴上设置有第二丝辊。该种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置具有结构简单、性能稳定可靠、加工效率高、加工质量好、丝材表面涂层一致性高等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置
本技术涉及一种表面改性领域用辅助设备，特别是一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置。
技术介绍
表面改性技术是利用物理沉积、化学沉积、机械喷涂等手段将特定涂层材料覆盖到零部件表面，从而使零部件表面获得涂层材料的性能，进而提高零部件的耐腐蚀、耐磨损、耐高温、耐氧化等性能的一种技术。物理气相沉积是在真空条件下，采用物理方法，将材料源表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。磁控溅射镀膜技术是物理气相沉积技术中很成熟且应用非常广泛的一种表面涂层制备技术，其具有沉积速度快、基材温升低、溅射靶材种类多等优势，所沉积的薄膜具有纯度高、损伤小、致密性好、均匀性好、附着力强、工艺重复性好等系列优点。然而，在现有技术中，针对超细丝材的表面磁控溅射沉积涂层的加工过程中存在设备结构复杂、设备成本高的问题，且难以实现丝材长时间连续涂层沉积加工，丝材表面的涂层一致性差、加工效率低下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：包括基座(1)及主转轴(11)，所述主转轴(11)上固定设置有承载架(2)，所述承载架(2)一端设置有可径向转动的第一中间转轴(31)及第一丝辊转轴(41)，承载架(2)另一端设置有可径向转动的第二中间转轴(32)及第二丝辊转轴(42)，所述第一中间转轴(31)外端与基座(1)之间设置有第一齿轮传动组件，所述第二中间转轴(32)外端与基座(1)之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴(31)与第一丝辊转轴(41)之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴(32)与第二丝辊转轴(42)之间设置有第四齿轮传动组件，所述第一丝辊转轴(41)上设置...

【技术特征摘要】
1.一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：包括基座(1)及主转轴(11)，所述主转轴(11)上固定设置有承载架(2)，所述承载架(2)一端设置有可径向转动的第一中间转轴(31)及第一丝辊转轴(41)，承载架(2)另一端设置有可径向转动的第二中间转轴(32)及第二丝辊转轴(42)，所述第一中间转轴(31)外端与基座(1)之间设置有第一齿轮传动组件，所述第二中间转轴(32)外端与基座(1)之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴(31)与第一丝辊转轴(41)之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴(32)与第二丝辊转轴(42)之间设置有第四齿轮传动组件，所述第一丝辊转轴(41)上设置有第一丝辊(51)，所述第二丝辊转轴(42)上设置有第二丝辊(52)。


2.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一中间转轴(31)通过第一转轴轴承(311)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述第一转轴轴承(311)的第一轴承阶梯安装位(312)，所述第一转轴轴承(311)安装在所述第一轴承阶梯安装位(312)后，第一转轴轴承(311)的外圈固定于第一轴承阶梯安装位(312)中，第一转轴轴承(311)内圈与第一中间转轴(31)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定第一转轴轴承(311)的第一轴承压板(313)，所述第一轴承压板(313)通过第一轴承压板螺栓(314)固定在承载架(2)侧部，第一轴承压板(313)的内沿压紧在第一转轴轴承(311)的外圈并将第一转轴轴承(311)限位在第一轴承阶梯安装位(312)中；
所述第二中间转轴(32)通过第二转轴轴承(321)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述第二转轴轴承(321)的第二轴承阶梯安装位(322)，所述第二转轴轴承(321)安装在所述第二轴承阶梯安装位(322)后，第二转轴轴承(321)的外圈固定于第二轴承阶梯安装位(322)中，第二转轴轴承(321)内圈与第二中间转轴(32)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定第二转轴轴承(321)的第二轴承压板(323)，所述第二轴承压板(323)通过第二轴承压板螺栓(324)固定在承载架(2)侧部，第二轴承压板(323)的内沿压紧在第二转轴轴承(321)的外圈并将第二转轴轴承(321)限位在第二轴承阶梯安装位(322)中。


3.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述承载架(2)上部向内延伸有承载架第一上折板(21)及承载架第一下折板(23)，所述承载架第一上折板(21)上开设有第一丝辊轴上安装孔，所述第一丝辊轴上安装孔中设置有第一丝辊轴上轴承(411)，所述第一丝辊转轴(41)的上端固定安装在第一丝辊轴上轴承(411)的内圈，所述承载架第一上折板(21)上壁设置有第一上盖板(412)，所述第一上盖板(412)通过第一上盖板固定螺栓(413)固定在承载架第一上折板(21)上壁；所述承载架第一下折板(23)上开设有第一丝辊轴下安装孔，所述第一丝辊轴下安装孔中设置有第一丝辊轴下轴承(414)，所述第一丝辊转轴(41)的下端固定安装在第一丝辊轴下轴承(414)的内圈，所述承载架第一下折板(23)下壁设置有第一下盖板(415)，所述第一下盖板(415)通过第一下盖板固定螺栓(416)固定在承载架第一下折板(23)下壁；
所述承载架(2)上部向内延伸有承载架第二上折板(22)及承载架第二下折板(24)，所述承载架第二上折板(22)上开设有第二丝辊轴上安装孔，所述第二丝辊轴上安装孔中设置有第二丝辊轴上轴承(421)，所述第二丝辊转轴(42)的上端固定安装在第二丝辊轴上轴承(421)的内圈，所述承载架第二上折板(22)上壁设置有第二上盖板(422)，所述第二上盖板(422)通过第二上盖板固定螺栓(423)固定在承载架第二上折板(22)上壁；所述承载架第二下折板(24)上开设有第二丝辊轴下安装孔，所述第二丝辊轴下安装孔中设置有第二丝辊轴下轴承(424)，所述第二丝辊转轴(42)的下端固定安装在第二丝辊轴下轴承(424)的内圈，所述承载架第二下折板(24)下壁设置有第二下盖板(42...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛立远，
申请(专利权)人：北京大学深圳研究院，
类型：新型
国别省市：广东;44