下载一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置的技术资料

文档序号:25796548

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本实用新型公开了一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置,包括基座及主转轴,主转轴上固定设置有承载架,承载架一端设置有可径向转动的第一中间转轴及第一丝辊转轴,承载架另一端设置有可径向转动的第二中间转轴及第二丝辊转轴,第一中间转轴外端与基座之间...
该专利属于北京大学深圳研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学深圳研究院授权不得商用。

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