一种晶圆加工用湿法清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆加工用湿法清洗设备，包括支架、清洗槽、放置框、连接杆、滑板、螺纹杆、固定板、升降电机、滑杆和晶圆架，支架顶部固定有清洗槽，清洗槽内壁设有放置框，放置框两侧对称固定有连接杆，放置框两端的两个连接杆一端固定有滑板，滑板中部开设有螺纹孔，螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆，且螺纹杆底部通过轴承与清洗槽底部转动连接，清洗槽内壁顶部对称固定有固定板，螺纹杆顶部通过轴承与固定板转动连接，固定板中部固定有升降电机，且升降电机的输出端与螺纹杆固定连接，滑板两端通过导套对称滑动连接有滑杆，此晶圆加工用湿法清洗设备便于人们取放晶圆架、且清洗效率较高，便于人们使用。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用湿法清洗设备
本技术涉及晶圆清洗
，具体为一种晶圆加工用湿法清洗设备。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，由于硅片在运输过程中会有所污染，表面洁净度不是很高，对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响，所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗操作，现有的晶圆湿法清洗大都是将晶圆浸泡在清洁液内浸泡，以去除晶圆表面的污物，但是现有的晶圆清洗装置在清洗时，不便于人们取放晶圆，且清洗效果较差。为此，我们提出一种晶圆加工用湿法清洗设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆加工用湿法清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆加工用湿法清洗设备，包括支架、清洗槽、放置框、连接杆、滑板、螺纹杆、固定板、升降电机、滑杆和晶圆架，所述支架顶部固定有清洗槽，所述清洗槽内壁设有放置框，所述放置框两侧对称固定有连接杆，所述放置框两端的两个连接杆一端固定有滑板，所述滑板中部开设有螺纹孔，所述螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆，且螺纹杆底部通过轴承与清洗槽底部转动连接，所述清洗槽内壁顶部对称固定有固定板，所述螺纹杆顶部通过轴承与固定板转动连接，所述固定板中部固定有升降电机，且升降电机的输出端与螺纹杆固定连接，所述滑板两端通过导套对称滑动连接有滑杆，所述滑杆一端与清洗槽底部固定连接，且滑杆另一端与固定板固定连接，所述放置框内壁放置有晶圆架。优选的，所述清洗槽底部固定有搅拌电机，所述搅拌电机的输出端穿过清洗槽固定有搅拌桨。优选的，所述清洗槽内壁底部固定有环形电加热器。优选的，所述升降电机和搅拌电机均为一种减速电机。优选的，所述清洗槽一侧固定有控制面板，且升降电机、搅拌电机和环形电加热器均与控制面板电性连接。优选的，所述清洗槽一侧固定有排液阀。与现有技术相比，本技术的有益效果是：在使用时，人们将清洗槽内注入适量的清洁液，并通过环形电加热器来对清洁液进行加热，以提高清洁效果，然后再将装满晶圆的晶圆架放置于放置框内，此时通过控制面板控制升降电机启动，进而带动螺纹杆转动，使得螺纹杆带动滑板向下运动，进而使得滑板通过连接杆带动放置框向下运动，进而将晶圆架向下移动至清洗槽内，直至清洁液漫过晶圆，此时再通过搅拌电机转动，带动搅拌桨转动，使得搅拌桨将清洗槽内的清洁液翻滚混合，不仅可提高环形电加热器对清洁液的加热速度，并且通过清洁液的运动来冲刷晶圆表面，以提高晶圆的清洗效果，在清洗完成后，在通过升降电机带动滑板向上运动，使得放置框将晶圆架抬升，使得人们可将晶圆架取出，此装置便于人们取放晶圆架、且清洗效率较高，便于人们使用。附图说明图1为本技术整体剖视结构示意图；图2为本技术滑杆剖视结构示意图。图中：1、支架；2、清洗槽；3、放置框；4、连接杆；5、滑板；6、螺纹杆；7、固定板；8、升降电机；9、滑杆；10、晶圆架；11、搅拌电机；12、搅拌桨；13、环形电加热器；14、控制面板；15、排液阀。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种晶圆加工用湿法清洗设备，包括支架1、清洗槽2、放置框3、连接杆4、滑板5、螺纹杆6、固定板7、升降电机8、滑杆9和晶圆架10，支架1顶部固定有清洗槽2，清洗槽2内壁设有放置框3，放置框3两侧对称固定有连接杆4，放置框3两端的两个连接杆4一端固定有滑板5，滑板5中部开设有螺纹孔，螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆6，且螺纹杆6底部通过轴承与清洗槽2底部转动连接，清洗槽2内壁顶部对称固定有固定板7，螺纹杆6顶部通过轴承与固定板7转动连接，固定板7中部固定有升降电机8，且升降电机8的输出端与螺纹杆6固定连接，滑板5两端通过导套对称滑动连接有滑杆9，滑杆9一端与清洗槽2底部固定连接，且滑杆9另一端与固定板7固定连接，放置框3内壁放置有晶圆架10，在使用时，人们将清洗槽2内注入适量的清洁液，并通过环形电加热器13来对清洁液进行加热，以提高清洁效果，然后再将装满晶圆的晶圆架10放置于放置框3内，此时通过控制面板14控制升降电机8启动，进而带动螺纹杆6转动，使得螺纹杆6带动滑板5向下运动，进而使得滑板5通过连接杆4带动放置框3向下运动，进而将晶圆架10向下移动至清洗槽2内，直至清洁液漫过晶圆，此时再通过搅拌电机11转动，带动搅拌桨12转动，使得搅拌桨12将清洗槽2内的清洁液翻滚混合，不仅可提高环形电加热器13对清洁液的加热速度，并且通过清洁液的运动来冲刷晶圆表面，以提高晶圆的清洗效果，在清洗完成后，在通过升降电机8带动滑板5向上运动，使得放置框3将晶圆架10抬升，使得人们可将晶圆架10取出。清洗槽2底部固定有搅拌电机11，搅拌电机11的输出端穿过清洗槽2固定有搅拌桨12，便于对清洗槽2内的清洁液进行搅拌，提高清洁液的加热速度和对晶圆的清洗效果。清洗槽2内壁底部固定有环形电加热器13，便于对清洁液进行加热，提高清洁效果。升降电机8和搅拌电机11均为一种减速电机，便于降低升降电机8和搅拌电机11的输出转速。清洗槽2一侧固定有控制面板14，且升降电机8、搅拌电机11和环形电加热器13均与控制面板14电性连接，便于控制电气设备的运行。清洗槽2一侧固定有排液阀15，便于将清洗槽2内的废液排出。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆加工用湿法清洗设备，包括支架（1）、清洗槽（2）、放置框（3）、连接杆（4）、滑板（5）、螺纹杆（6）、固定板（7）、升降电机（8）、滑杆（9）和晶圆架（10），其特征在于：所述支架（1）顶部固定有清洗槽（2），所述清洗槽（2）内壁设有放置框（3），所述放置框（3）两侧对称固定有连接杆（4），所述放置框（3）两端的两个连接杆（4）一端固定有滑板（5），所述滑板（5）中部开设有螺纹孔，所述螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆（6），且螺纹杆（6）底部通过轴承与清洗槽（2）底部转动连接，所述清洗槽（2）内壁顶部对称固定有固定板（7），所述螺纹杆（6）顶部通过轴承与固定板（7）转动连接，所述固定板（7）中部固定有升降电机（8），且升降电机（8）的输出端与螺纹杆（6）固定连接，所述滑板（5）两端通过导套对称滑动连接有滑杆（9），所述滑杆（9）一端与清洗槽（2）底部固定连接，且滑杆（9）另一端与固定板（7）固定连接，所述放置框（3）内壁放置有晶圆架（10）。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用湿法清洗设备，包括支架（1）、清洗槽（2）、放置框（3）、连接杆（4）、滑板（5）、螺纹杆（6）、固定板（7）、升降电机（8）、滑杆（9）和晶圆架（10），其特征在于：所述支架（1）顶部固定有清洗槽（2），所述清洗槽（2）内壁设有放置框（3），所述放置框（3）两侧对称固定有连接杆（4），所述放置框（3）两端的两个连接杆（4）一端固定有滑板（5），所述滑板（5）中部开设有螺纹孔，所述螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆（6），且螺纹杆（6）底部通过轴承与清洗槽（2）底部转动连接，所述清洗槽（2）内壁顶部对称固定有固定板（7），所述螺纹杆（6）顶部通过轴承与固定板（7）转动连接，所述固定板（7）中部固定有升降电机（8），且升降电机（8）的输出端与螺纹杆（6）固定连接，所述滑板（5）两端通过导套对称滑动连接有滑杆（9），所述滑杆（9）一端与清洗槽（2）底部固定连接，且滑杆（9）另一端与固定板（7）固定连接，所述放置框（3）内壁放置...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑东来，缪小波，
申请(专利权)人：江苏嘉兆电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32