【技术实现步骤摘要】
一种表压力传感器用气流变向的防护结构
本实用涉及压力传感器
,具体为一种表压力传感器用气流变向的防护结构。
技术介绍
压力传感器分为绝压和表压两种类型,绝压传感器感测压力与固定参考压力的差值;表压传感器为感测压力与环境压力的差值,由于环境压力值受温湿度、海拔等因素的影响,不同环境下的参考压力值各不相同,为保证表压类型的传感器输出精度,必须确保环境压力与传感器内部压力平衡。现有技术中表压传感器的内部压力与环境压力平衡相连通的同时,恶劣的大气环境例如液体、湿气和尘埃粒子等进入到MEMS(微机电系统)压力传感器的内部,会对表压传感器的测量精度和耐久性产生影响,存在着在实现传感器参考压力平衡的同时,不能够进行保护的缺点,故而提出一种表压力传感器用气流变向的防护结构。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本实用提供了一种表压力传感器用气流变向的防护结构,具备压力平衡和防护结构共同作用的等优点,解决了现有技术中表压传感器的内部压力与环境压力平衡相连通的同时,恶劣的大气环境例 ...
【技术保护点】
1.一种表压力传感器用气流变向的防护结构,其特征在于:包括表压传感器模组(200),所述表压传感器模组(200)的上端安装有防护部件(100),所述表压传感器模组(200)和防护部件(100)之间形成保护腔体(300);/n所述防护部件(100)包括上盖(60)和防尘帽(10),所述上盖(60)的上端安装有防尘帽(10),所述上盖(60)和防尘帽(10)之间形成与保护腔体(300)连通的变向气流通道(80);所述变向气流通道(80)包括垂直相交的侧壁气流通道(62)和主气流通道(63);/n所述主气流通道(63)的上方设有防水透气膜(30)。/n
【技术特征摘要】
1.一种表压力传感器用气流变向的防护结构,其特征在于:包括表压传感器模组(200),所述表压传感器模组(200)的上端安装有防护部件(100),所述表压传感器模组(200)和防护部件(100)之间形成保护腔体(300);
所述防护部件(100)包括上盖(60)和防尘帽(10),所述上盖(60)的上端安装有防尘帽(10),所述上盖(60)和防尘帽(10)之间形成与保护腔体(300)连通的变向气流通道(80);所述变向气流通道(80)包括垂直相交的侧壁气流通道(62)和主气流通道(63);
所述主气流通道(63)的上方设有防水透气膜(30)。
2.根据权利要求1所述的一种表压力传感器用气流变向的防护结构,其特征在于:所述上盖(60)包括连接管(70)和第二环形卡扣(61),所述第二环形卡扣(61)连接在连接管(70)的上端,所述主气流通道(63)设置在连接管(70)的几何中心处,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王小平,李凡亮,吴登峰,曹万,
申请(专利权)人:武汉飞恩微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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