一种氧化镓光电探测器及其制备方法技术

本公开提供了一种氧化镓光电探测器，包括：衬底(100)；下电极(200)，设于所述衬底(100)表面；氧化镓层(300)，设于所述下电极(200)的表面，所述氧化镓层(300)的顶面设有多个沟槽；上电极(400)，覆盖所述氧化镓层(300)的顶面以及沟槽的底面和侧面。另一方面本公开还提供了一种氧化镓光电探测器的制备方法。本申请的氧化镓光电探测制备工艺简单，同时实现高的响应度和快的响应速度。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化镓光电探测器及其制备方法
本公开涉及光电探测
，尤其涉及一种氧化镓光电探测器及其制备方法。
技术介绍
光电探测器是一类能将光信号转化为电信号从而实现对光的探测的光电子器件。日盲波段是指波长范围在200～280nm的紫外光。由于大气臭氧层的强烈吸收，太阳光中的这部分不能到达地表，因此日盲探测具有背景干扰小的突出优点，在空间天文望远镜、导弹预警、非视距保密光通信、海上破雾导航、电网监测、火灾遥感及生化监测等方面具有广阔的应用前景。根据机理的不同，光电探测器可以分为两种，也即外光电效应探测器以及内光电效应探测器。外光电效应探测器依靠电子吸收光子后从材料表面逸出的外光电效应，主要包括光电倍增管、像增强器等。这类器件存在一般需要高真空、体积大等缺点，还比较脆弱。内光电效应探测器则依靠电子吸收光子后从价带跃迁到导带的内光电效应。内光电效应又可以分为两种：光电导效应和光伏效应。光电导效应是指材料吸收光子后发生电子跃迁，从而使得自由载流子浓度上升，电阻率下降。光伏效应则指光照下产生的自由载流子在器件内建电场的作用下分别被运输到器件两端，从而导致器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化镓光电探测器，包括：/n衬底(100)；/n下电极(200)，设于所述衬底(100)表面；/n氧化镓层(300)，设于所述下电极(200)的表面，所述氧化镓层(300)的顶面设有多个沟槽；/n上电极(400)，覆盖所述氧化镓层(300)的顶面以及沟槽的底面和侧面。/n

【技术特征摘要】
1.一种氧化镓光电探测器，包括：
衬底(100)；
下电极(200)，设于所述衬底(100)表面；
氧化镓层(300)，设于所述下电极(200)的表面，所述氧化镓层(300)的顶面设有多个沟槽；
上电极(400)，覆盖所述氧化镓层(300)的顶面以及沟槽的底面和侧面。


2.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，所述下电极(200)的材料为Ti、Cr、Ni、Pt、Au、Ag、W、In、Al、Ru、Pd、TiN、Ta、TaN、ITO或石墨烯中的一种或多种。


3.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，所述氧化镓层(300)的厚度为10～1000nm。


4.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，所述沟槽的截面形状为圆形、圆环形、长方形、三角形或多边形中的一种或多种。


5.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓龙，谭鹏举，侯小虎，徐光伟，龙世兵，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：安徽;34