下载一种氧化镓光电探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:25760144

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本公开提供了一种氧化镓光电探测器,包括:衬底(100);下电极(200),设于所述衬底(100)表面;氧化镓层(300),设于所述下电极(200)的表面,所述氧化镓层(300)的顶面设有多个沟槽;上电极(400),覆盖所述氧化镓层(300)...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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