一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器，包括悬臂梁结构和传感器防护壳，所述悬臂梁结构的上方设有由两个受电弓碳滑板托架组成U型托架，悬臂梁结构梁臂和底座之间有一定的缝隙，缝隙在靠近悬臂梁结构根部位置一直到U型托架之前是1mm，从U型托架到远离悬臂梁结构根部的位置的缝隙保持1.5mm，悬臂梁结构上还安装有MEMS光学压力敏感芯片，传感器防护壳通过螺钉固定在悬臂梁结构上，本发明专利技术传感器件是在不改变受电弓本身力学结构的基础上进行加装的，且利于组装和拆卸，因此可以大批量地列装在运营列车的受电弓上，实时监测弓网之间的工作状态，保障安全运营。

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器
本专利技术涉及传感器
，具体是一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器。
技术介绍
光学MEMS传感技术是21世界前十年逐步兴起、发展和成熟的技术，其融合了光学技术及MEMS（微机电）技术，使传统光学传感提升到参数可调的“动态微光传感”的技术，拥有该技术的传感器具有体积小、质量轻、易安装、高灵敏度、动态响应、无源测量、抗电磁干扰等优点。而轨道交通譬如高速铁路及城市地铁已经成为人们出行的主要交通工具，人群密集型出行为轨道交通行业的运营安全带去严重的挑战，其中良好的接触网和受电弓之间的受流关系是重中之重。接触网和受电弓之间的压力过大会出现弓拉断网或网撞飞弓的事故，而压力过小则会出现受电弓受流不良及弓网间的拉弧等现象，因此，在列车行进过程中，受电弓和接触网之间必须存在合理的接触力，受电弓才能安全地把电流从接触网引入车体内的牵引变流系统中，从而为列车提供持续有效的动力。然而，轨道交通行业中的高电压受流技术，导致了传统的电子电气类传感器由于受电磁干扰的局限性而不能胜任测量列车运行时的动态弓网间压力，因此本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器，包括悬臂梁结构（1）和传感器防护壳（2），其特征在于，所述悬臂梁结构（1）的上方设有由两个受电弓碳滑板托架（6）组成U型托架，悬臂梁结构（1）梁臂和底座之间有一定的缝隙，缝隙在靠近悬臂梁结构（1）根部位置一直到U型托架之前是1mm，从U型托架到远离悬臂梁结构（1）根部的位置的缝隙保持1.5mm，悬臂梁结构（1）上还安装有MEMS光学压力敏感芯片（3），传感器防护壳2通过螺钉固定在悬臂梁结构（1）上，其位置位于MEMS光学压力敏感芯片（3）上方，MEMS光学压力敏感芯片（3）上连接有导波光纤（10），MEMS光学压力敏感芯片（3）有两个，两个MEMS压力敏...

【技术特征摘要】
1.一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器，包括悬臂梁结构（1）和传感器防护壳（2），其特征在于，所述悬臂梁结构（1）的上方设有由两个受电弓碳滑板托架（6）组成U型托架，悬臂梁结构（1）梁臂和底座之间有一定的缝隙，缝隙在靠近悬臂梁结构（1）根部位置一直到U型托架之前是1mm，从U型托架到远离悬臂梁结构（1）根部的位置的缝隙保持1.5mm，悬臂梁结构（1）上还安装有MEMS光学压力敏感芯片（3），传感器防护壳2通过螺钉固定在悬臂梁结构（1）上，其位置位于MEMS光学压力敏感芯片（3）上方，MEMS光学压力敏感芯片（3）上连接有导波光纤（10），MEMS光学压力敏感芯片（3）有两个，两个MEMS压力敏感芯片（3）通过正交黏贴的方式布置。


2.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器，其特征在于，所述悬臂梁结构（1）上还设有板簧固定孔位（5）。


3.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器，其特征在于，所述悬臂梁结构（1）上还设有四个用于固定螺丝的限位孔（4）。


4.根据权利要求1所述的一种悬...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴迅奇，李伟伟，
申请(专利权)人：上海拜安传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31