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本发明公开了一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器，包括悬臂梁结构和传感器防护壳，所述悬臂梁结构的上方设有由两个受电弓碳滑板托架组成U型托架，悬臂梁结构梁臂和底座之间有一定的缝隙，缝隙在靠近悬臂梁结构根部位置一直到U型托架之前是1mm，从U型托...
该专利属于上海拜安传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海拜安传感技术有限公司授权不得商用。

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