线上光学分析仪制造技术

一种线上光学分析仪，其包括一控制系统、一反应槽、一开放式光学反应系统、一水样汲取装置、一去离子水管路、一搅拌装置与一药剂添加系统，本发明专利技术藉由该控制系统的控制，使各个元件自动配合运作，其先让该水样汲取装置，取得定量要分析的水样置入该反应槽，先由该开放式光学反应系统取得该水样的光吸收度的背景值，再藉该药剂添加系统于该水样加入反应剂，藉该搅拌装置自动搅拌，再由该开放式光学反应系统测量光吸收度，因而可藉由光吸收度换算得知该水样的浓度，本发明专利技术的开放式光学反应系统透过中空桥接玻璃管柱伸入该反应槽内，其不但可以依据不同的水样更换适合的光源，且可避免悬浮物干扰，以增加产品良率，并降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种药剂浓度分析仪，特别是涉及一种可自动分析的线上 光学分析仪。
技术介绍
在半导体工厂与化学工厂的制程中，常常会使用到各种化学槽，如活 化槽、棕化槽、膨松槽与速化槽等等，其化学槽内的药剂浓度，关系到产 品的良率与品质，因此为了增加产品良率并维持品质，需要定时检验化学 槽内的药剂浓度。目前要检验化学槽内的药剂浓度，多半是藉由人力定时由生产线上抽 取水样加以检验，并由人力于实验室中加以检验并纪录之，然由于人力的 成本昂贵，且易有疏忽甚至造假的疑虑，因而导致其成本居高不下，亦难 确保检验结果的正确性，因此目前亦有自动化分析设备可用于半导体工厂 与化学工厂。又在分析化学分析中，所谓的比色法，是在含有待测物质的水样中加 入显色剂，以依据颜色深浅的变化，判定待测物质的含量。目前自动分析 设备一般采用光学反应系统来判定颜色深浅变化，请参阅"图1"所示，其主要让显色剂与水样分别由一三通接头1混合通过一量测室2,该量测室2 的两端分别设置一光发射器3与一光接收器4，因此透过该光发射器3的发 射量与该光接收器4的接收量，即可推算出其色差变化。然此一光学反应系统，其为密闭式设计，其组装不易且不易清洁，又 容易受到水样色度与悬浮微粒的影响，又容易被水样悬浮粒堵塞管路，因 而影响分析准确度甚巨。由此可见，上述现有的自动分析设备在结构与使用上，显然仍存在有 不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂 商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展 完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业 者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型结构的线上光学分析仪，便成 为当前业界极需改进的目标。有鉴于上述现有的自动分析设备存在的缺陷，本专利技术人基于从事此类 产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极 加以研究创新，以期创设一种新型结构的线上光学分析仪，能够改进一般现有的自动分析设备，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经 过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，克服现有的自动分析设备存在的缺陷，而提 供一种新型结构的线上光学分析仪，所要解决的技术问题是使其具开放式 的光学反应系统，其组装方^f更快速，因而可依据水样的种类更换光源，并 不易受到悬浮微粒的影响，而可提高分析准确度，从而更加适于实用。本专利技术的另一目的在于，提供一种新型结构的线上光学分析仪，所要 解决的技术问题是使其用以监控浓度变化，并可供连结生产线的药剂添加 系统，^v而更加适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本 专利技术提出的一种线上光学分析仪，用于自动检验一取自一生产线上的水样，其包括 一反应槽，该反应槽供容置该水样，且该反应槽连接一排放管， 该排放管设有一排放流体开关； 一水样汲取装置，该水样汲取装置连接该 生产线与该反应槽； 一开放式光学反应系统，该开放式光学反应系统位于 该反应槽内，该开放式光学反应系统具有一光接收器、 一光发射器、 一中 空桥接玻璃管柱、 一光源导线与一光接收器导线，该中空桥接玻璃管柱具 有二具固定距离的透明管伸入该水样之中，该光接收器与该光发射器分别 设于该二透明管内，且该光接收器导线与该光源导线分别连接该光接收器 与该光发射器，以让该光发射器发射光，让该光接收器接收光，而量测光 吸收度； 一药剂添加系统，该药剂添加系统具有至少一添加装置连接至该 反应槽； 一搅拌装置，该搅拌装置设于该反应槽内； 一去离子水管路，该 去离子水管路连接该反应槽与一去离子水来源，且设有一去离子水流体关 关；以及一控制系统，该控制系统装载一控制软体，以自动执行程式控制， 该控制系统控制该水样汲取装置自生产线上吸取定量的该水样，并流入该 反应槽，其先由该开放式光学反应系统取得该水样的光吸收度的背景值， 再控制该药剂添加系统，依据该水样要检验的成份，利用该添加装置加入 一反应剂，同时藉该搅拌装置对该水样进行搅拌，待反应完成之后，再由 该开放式光学反应系统测量光吸收度，以让该控制系统藉光吸收度的变化 推算该水样的成份浓度，接着开启该排放流体开关以使该水样由该排放管 加以排放，并开启该去离子水流体关关，使该去离子水来源提供去离子水 流入该反应槽加以清洗，并由该排放管加以排放。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。' 前述的线上光学分析仪，其中所述的搅拌装置包括一搅拌子与一搅拌 器，该搅拌器置于该反应槽之下，而该搅拌子置于该反应槽内部。前述的线上光学分析仪，其中所述的反应槽内朝下形成一内陷槽，该 内陷槽供容置该搅拌子。前述的线上光学分析仪，其中所述的水样汲取装置包括一取样杯、一 水样溢流管、 一水样管路与一取样泵，该水样溢流管设置在该取样杯内， 该取样泵设置该水样管路上，该水样管路一端伸入该反应槽，另一端伸入 该取样杯且超过该水样溢流管，其先自该生产线取得该水样进入该取样杯， 并使该水样满溢至该水样溢流管，再藉该取样泵加压，吸取该水样由该水 样管路进入该反应槽。前述的线上光学分析仪，其中所述的反应槽内可设置一开口朝下的虹 吸管并与该反应槽的底部具预定高度。前述的线上光学分析仪，其中所述的反应槽内设一保护溢流管。前述的线上光学分析仪，其中设一标准液添加装置连接至该反应槽， 该标准液添加装置装填有一标准液。前述的线上光学分析仪，其中所述的控制系统具有数据撷取功能，以 记录自动分析的历史资料。 .前述的线上光学分析仪，其中所述的控制系统具有一传输介面，该传 输介面供连接一远端设备，以藉由该远端设备进行远端遥控。前述的线上光学分析仪，其中所述的控制系统具有一温度补偿装置。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知，为了 达到上述目的，本专利技术提供了一种线上光学分析仪，用于自动检验一取自 一生产线上的水样，其包括一反应槽、 一水样汲取装置、 一开放式光学反 应系统、 一药剂添加系统、 一搅拌装置、 一去离子水管路与一控制系统， 其透过该控制系统的控制，于该反应槽内，藉由该水样汲取装置、该开放 式光学反应系统、该药剂添加系统与该搅拌装置，进行自动分析，并藉该 去离子水管路提供去离子水以沖洗干净，以再次进行自动分析。该开放式光学反应系统具有一中空桥接玻璃管柱以容置一光接收器与 一光发射器，该中空桥接玻璃管柱具有二具固定距离的透明管伸入该水样 之中，以让该光发射器发射的光经过该水样，再被该光接收器所接收，其 可藉发射与接受的强度变化，量测光吸收度。据此，本专利技术至少具有下列优点1、 可自动批次分析于生产线上所抽取的水样。2、 其开放式光学反应系统组装方便快速，因而可依据水样的种类更换 光源，并不易受到悬浮微粒的影响，而可提高分析准确度。综上所述，本专利技术新颖的线上光学分析仪，包括一控制系统、 一反应 槽、 一开放式光学反应系统、 一水样汲取装置、 一去离子水管路、 一搅拌 装置与一药剂添加系统，本专利技术藉由该控制系统的控制，使各个元件自动配合运作，其先让该水样汲取装置，取得定量要分析的水样置入该反应槽， 先由该开放式光学反应系统取得该水样的光吸收度的背景值，再藉该药剂 添加系统于该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线上光学分析仪，用于自动检验一取自一生产线（８０）上的水样（９０），其特征在于包括：一反应槽（１０），该反应槽（１０）供容置该水样（９０），且该反应槽（１０）连接一排放管（１１），该排放管（１１）设有一排放流体开关（１２）；一水样汲取装置（２０），该水样汲取装置（２０）连接该生产线（８０）与该反应槽（１０）；一开放式光学反应系统（３０），该开放式光学反应系统（３０）位于该反应槽（１０）内，该开放式光学反应系统（３０）具有一光接收器（３１）、一光发射器（３２）、一中空桥接玻璃管柱（３３）、一光源导线（３４）与一光接收器导线（３５），该中空桥接玻璃管柱（３３）具有二具固定距离的透明管（３３１）伸入该水样（９０）之中，该光接收器（３１）与该光发射器（３２）分别设于该二透明管（３３１）内，且该光接收器导线（３５）与该光源导线（３４）分别连接该光接收器（３１）与该光发射器（３２），以让该光发射器（３２）发射光，让该光接收器（３１）接收光，而量测光吸收度；一药剂添加系统（４０），该药剂添加系统（４０）具有至少一添加装置（４１）连接至该反应槽（１０）；一搅拌装置（５０），该搅拌装置（５０）设于该反应槽（１０）内；一去离子水管路（６０），该去离子水管路（６０）连接该反应槽（１０）与一去离子水来源（６１），且设有一去离子水流体关关（６２）；以及一控制系统，该控制系统装载一控制软体，以自动执行程式控制，该控制系统控制该水样汲取装置（２０）自生产线（８０）上吸取定量的该水样（９０），并流入该反应槽（１０），其先由该开放式光学反应系统（３０）取得该水样（９０）的光吸收度的背景值，再控制该药剂添加系统（４０），依据该水样（９０）要检验的成份，利用该添加装置（４１）加入一反应剂（４３１），同时藉该搅拌装置（５０）对该水样（９０）进行搅拌，待反应完成之后，再由该开放式光学反应系统（３０）测量光吸收度，以让该控制系统藉光吸收度的变化推算该水样（９０）的成份浓度，接着开启该排放流体开关（１２）以使该水样（９０）由该排放管（１１）加以排放，并开启该去离子水流体关关（６２），使该去离子水来源（６１）提供去离子水流入该反应槽（１０）加以清洗，并由该排放管（１１）加以排放。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵铭辉，邱颜慧，
申请(专利权)人：赵铭辉，邱颜慧，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]