真空室内用电子束枪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空室内用电子束枪，包括：真空腔外壳、压模、上部散热器、上部枪体、高压输入外壳、高压输入组件、阴极组件、中部枪体、电磁场防护屏、下部枪体、加速电极、电子束通道、聚焦透镜上壳体、聚焦透镜下壳体、聚焦透镜、电子束偏转系统外壳、过渡法兰、电子束偏转线圈、下部散热器、防护屏；本实用新型专利技术使用铝合金制造的电子束枪壳体零件极大地减轻了电子束枪的重量及改善了向液体冷却散热器排除热量；使用铝合金制造的、并安装在电子束枪的上部和下部液体冷却散热器极大地改善了电子束枪整个系统的冷却性能；安装在电子束枪的下部防护屏防止电子束枪遭受来自于电子束作用区的热辐射和蒸发物，工作稳定性。

【技术实现步骤摘要】
真空室内用电子束枪
本技术涉及真空室内用电子束熔覆、焊接、热处理设备，特别提供一种真空室内用电子束枪。
技术介绍
电子束枪是电子束加工系统中重要组成部分，是产生、加速、会聚高能量密度电子束的装置。在长期试验、生产中，传统电子束枪存在以下技术问题：1、钢制电子束枪壳体总量大：电子束枪的大重量使机电机械手工作复杂化，该机械手完成电子束枪在真空室内的移动。2、钢制电子束枪壳体低导热性导致长时间在真空中工作的电子束枪过热。3、长时间在真空中工作的电子束枪过热致使电子束枪工作不稳定或者事故切断。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空室内用电子束枪，可有效的解决上述问题。本技术的技术方案是：真空室内用电子束枪，包括：真空腔外壳1、压模3、上部散热器4、上部枪体6、高压输入外壳8、高压输入组件9、阴极组件12、中部枪体16、电磁场防护屏18、下部枪体19、加速电极24、电子束通道26、聚焦透镜上壳体28、聚焦透镜下壳体29、聚焦透镜30、电子束偏转系统外壳31、过渡法兰32、电子束偏转线圈34、下部散热器36、防护屏38；所述上部散热器4密封固定在上部枪体6上端；所述上部散热器4设有与上部枪体6内部连通的通孔，所述真空腔外壳1固定在上部散热器4上端，所述压模3通过真空腔外壳1与上部散热器4挤压封堵于上部散热器4的通孔；所述高压输入外壳8焊接在上部枪体6一侧，所述高压输入组件9密封固定在高压输入外壳8内部；所述阴极组件12上端外周焊接有阴极组件法兰13，所述上部枪体6与中部枪体16之间压紧阴极组件法兰13并密封连接；所述中部枪体16外侧壁上焊接有铰链上部接头20，所述下部枪体19外侧壁上焊接有铰链下部接头22，所述中部枪体16与下部枪体19通过铰链上部接头20与铰链下部接头22配合销体21固定连接；所述电磁场防护屏18通过机械配合固定在中部枪体16与下部枪体19内部；所述下部枪体19下端设有空气抽出孔23，其中间位置为带螺纹孔的向下凸起结构，所述加速电极24螺纹连接在下部枪体19的螺纹孔内并通过螺纹配合调节高度，所述电子束通道26上端与下部枪体19凸起部螺纹连接；所述聚焦透镜下壳体29与电子束通道26下端螺纹连接，所述聚焦透镜30设于聚焦透镜上壳体28与聚焦透镜下壳体29之间，并通过压紧螺母Ⅱ27与电子束通道26螺纹配合压紧于聚焦透镜上壳体28；所述电子束偏转系统外壳31及过渡法兰32整体固定在聚焦透镜下壳体29下端，所述电子束偏转系统外壳31内部中心位置环绕固定有电子束偏转线圈34；所述下部散热器36固定在过渡法兰32下端，所述防护屏38固定在下部散热器36下端。进一步地，所述上部枪体6、中部枪体16及下部枪体19均由AlMg5Mn1铝合金制成。进一步地，所述上部散热器4及下部散热器36均为由2A12铝合金制成的液体冷却散热器。本技术具有以下有益的效果：本技术稳定性强，减轻了电子束枪重量，改善了在真空中电子束枪壳体冷却性能，提高了电子束枪长时间工作稳定性。附图说明图1为本技术的结构示意图；图中：1、真空腔外壳；2、连接螺栓Ⅱ；3、压模；4、上部散热器；5、连接螺栓Ⅰ；6、上部枪体；7、密封圈Ⅰ；8、高压输入外壳；9、高压输入组件；10、密封圈Ⅱ；11、连接螺栓Ⅲ；12、阴极组件；13、阴极组件法兰；14、密封圈Ⅲ；15、密封圈Ⅳ；16、中部枪体；17、连接螺栓Ⅳ；18、电磁场防护屏；19、下部枪体；20、铰链上部接头；21、销体；22、铰链下部接头；23、空气抽出孔；24、加速电极；25、压紧螺母Ⅰ；26、电子束通道；27、压紧螺母Ⅱ；28、聚焦透镜上壳体；29、聚焦透镜下壳体；30、聚焦透镜；31、电子束偏转系统外壳；32、过渡法兰；33、连接螺栓Ⅴ；34、电子束偏转线圈；35、连接螺栓Ⅵ；36、下部散热器；37、连接螺栓Ⅶ；38、防护屏；39、钢垫圈；40、连接螺栓Ⅷ；41、电子束。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进行详细描述。如图1所示，真空室内用电子束枪，包括：真空腔外壳1、压模3、上部散热器4、上部枪体6、高压输入外壳8、高压输入组件9、阴极组件12、中部枪体16、电磁场防护屏18、下部枪体19、加速电极24、电子束通道26、聚焦透镜上壳体28、聚焦透镜下壳体29、聚焦透镜30、电子束偏转系统外壳31、过渡法兰32、电子束偏转线圈34、下部散热器36、防护屏38；上部散热器4通过连接螺栓Ⅰ5及密封圈Ⅰ7密封固定在上部枪体6上端；上部散热器4设有与上部枪体6内部连通的通孔，真空腔外壳1通过连接螺栓Ⅱ2固定在上部散热器4上端，压模3通过真空腔外壳1与上部散热器4挤压封堵于上部散热器4的通孔；高压输入外壳8焊接在上部枪体6一侧，高压输入组件9通过密封圈Ⅱ10及连接螺栓Ⅲ11密封固定在高压输入外壳8内部；阴极组件12上端外周焊接有阴极组件法兰13，上部枪体6与中部枪体16之间通过密封圈Ⅲ14、密封圈Ⅳ15、阴极组件法兰13及连接螺栓Ⅳ17密封连接；中部枪体16外侧壁上焊接有铰链上部接头20，下部枪体19外侧壁上焊接有铰链下部接头22，中部枪体16与下部枪体19通过铰链上部接头20与铰链下部接头22配合销体21固定连接；电磁场防护屏18通过机械配合固定在中部枪体16与下部枪体19内部；下部枪体19下端设有空气抽出孔23，其中间位置为带螺纹孔的向下凸起结构，加速电极24螺纹连接在下部枪体19的螺纹孔内并通过螺纹配合调节高度，电子束通道26上端与下部枪体19凸起部螺纹连接并通过嵌入螺纹连接在电子束通道26外表面的压紧螺母Ⅰ25二次压紧固定；聚焦透镜下壳体29与电子束通道26下端螺纹连接，聚焦透镜30设于聚焦透镜上壳体28与聚焦透镜下壳体29之间，并通过压紧螺母Ⅱ27与电子束通道26螺纹配合压紧于聚焦透镜上壳体28；电子束偏转系统外壳31及过渡法兰32通过连接螺栓Ⅴ33固定在聚焦透镜下壳体29下端，电子束偏转系统外壳31内部中心位置通过连接螺栓Ⅵ35环绕固定有电子束偏转线圈34；下部散热器36通过连接螺栓Ⅶ37固定在过渡法兰32下端，防护屏38配合钢垫圈39及连接螺栓Ⅷ40固定在下部散热器36下端。其中，真空腔外壳1、连接螺栓Ⅱ2、连接螺栓Ⅰ5、连接螺栓Ⅲ11、连接螺栓Ⅳ17、销体21、连接螺栓Ⅴ33、连接螺栓Ⅵ35、连接螺栓Ⅶ37、防护屏38、钢垫圈39及连接螺栓Ⅷ40为304不锈钢材质；压模3、密封圈Ⅰ7、密封圈Ⅱ10、密封圈Ⅲ14、密封圈Ⅳ15为硅橡胶材质；上部枪体6、中部枪体16、下部枪体19、铰链上部接头20及铰链下部接头22为AlMg5Mn1铝合金材质；上部散热器4、下部散热器36、电子束偏转系统外壳31及过渡法兰32为2A12铝合金材质，上部散热器4、下部散热器36为液体冷却散热器；阴极组件法兰13及加速电极24为TU1无氧铜材质；电磁场防护屏18为Permalloy合金材质；压紧螺母Ⅰ25、电子束通道26及压紧螺母Ⅱ27为黄铜材质；聚焦透本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空室内用电子束枪，其特征在于，包括：真空腔外壳(1)、压模(3)、上部散热器(4)、上部枪体(6)、高压输入外壳(8)、高压输入组件(9)、阴极组件(12)、中部枪体(16)、电磁场防护屏(18)、下部枪体(19)、加速电极(24)、电子束通道(26)、聚焦透镜上壳体(28)、聚焦透镜下壳体(29)、聚焦透镜(30)、电子束偏转系统外壳(31)、过渡法兰(32)、电子束偏转线圈(34)、下部散热器(36)、防护屏(38)；/n所述上部散热器(4)密封固定在上部枪体(6)上端；所述上部散热器(4)设有与上部枪体(6)内部连通的通孔，所述真空腔外壳(1)固定在上部散热器(4)上端，所述压模(3)通过真空腔外壳(1)与上部散热器(4)挤压封堵于上部散热器(4)的通孔；所述高压输入外壳(8)焊接在上部枪体(6)一侧，所述高压输入组件(9)密封固定在高压输入外壳(8)内部；所述阴极组件(12)上端外周焊接有阴极组件法兰(13)，所述上部枪体(6)与中部枪体(16)之间压紧阴极组件法兰(13)并密封连接；所述中部枪体(16)外侧壁上焊接有铰链上部接头(20)，所述下部枪体(19)外侧壁上焊接有铰链下部接头(22)，所述中部枪体(16)与下部枪体(19)通过铰链上部接头(20)与铰链下部接头(22)配合销体(21)固定连接；所述电磁场防护屏(18)通过机械配合固定在中部枪体(16)与下部枪体(19)内部；所述下部枪体(19)下端设有空气抽出孔(23)，其中间位置为带螺纹孔的向下凸起结构，所述加速电极(24)螺纹连接在下部枪体(19)的螺纹孔内并通过螺纹配合调节高度，所述电子束通道(26)上端与下部枪体(19)凸起部螺纹连接；所述聚焦透镜下壳体(29)与电子束通道(26)下端螺纹连接，所述聚焦透镜(30)设于聚焦透镜上壳体(28)与聚焦透镜下壳体(29)之间，并通过压紧螺母Ⅱ(27)与电子束通道(26)螺纹配合压紧于聚焦透镜上壳体(28)；所述电子束偏转系统外壳(31)及过渡法兰(32)整体固定在聚焦透镜下壳体(29)下端，所述电子束偏转系统外壳(31)内部中心位置环绕固定有电子束偏转线圈(34)；所述下部散热器(36)固定在过渡法兰(32)下端，所述防护屏(38)固定在下部散热器(36)下端。/n...

【技术特征摘要】
1.真空室内用电子束枪，其特征在于，包括：真空腔外壳(1)、压模(3)、上部散热器(4)、上部枪体(6)、高压输入外壳(8)、高压输入组件(9)、阴极组件(12)、中部枪体(16)、电磁场防护屏(18)、下部枪体(19)、加速电极(24)、电子束通道(26)、聚焦透镜上壳体(28)、聚焦透镜下壳体(29)、聚焦透镜(30)、电子束偏转系统外壳(31)、过渡法兰(32)、电子束偏转线圈(34)、下部散热器(36)、防护屏(38)；
所述上部散热器(4)密封固定在上部枪体(6)上端；所述上部散热器(4)设有与上部枪体(6)内部连通的通孔，所述真空腔外壳(1)固定在上部散热器(4)上端，所述压模(3)通过真空腔外壳(1)与上部散热器(4)挤压封堵于上部散热器(4)的通孔；所述高压输入外壳(8)焊接在上部枪体(6)一侧，所述高压输入组件(9)密封固定在高压输入外壳(8)内部；所述阴极组件(12)上端外周焊接有阴极组件法兰(13)，所述上部枪体(6)与中部枪体(16)之间压紧阴极组件法兰(13)并密封连接；所述中部枪体(16)外侧壁上焊接有铰链上部接头(20)，所述下部枪体(19)外侧壁上焊接有铰链下部接头(22)，所述中部枪体(16)与下部枪体(19)通过铰链上部接头(20)与铰链下部接头(22)配合销体(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：于宝海，巴伊尔·达姆皮隆，刘占奇，
申请(专利权)人：沈阳金锋特种设备有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21